SiC keramika

SiC keramikasi yarimo'tkazgichli uskunalarda tobora ko'proq qo'llaniladi, chunki ular qiyinroq sharoitlarda yaxshiroq ushlab turadi. Harorat ko'tarilganda yoki jarayon agressivlashganda, kvarts yoki kremniy kabi materiallar cheklovlarni ko'rsata boshlaydi va odatda SiC bu yerda paydo bo'ladi. Oksidlanish yoki diffuziya kabi pech jarayonlarida SiC dan tayyorlangan gofret qayiqlari yoki eshkaklar kabi qismlar uzoqroq xizmat qiladi. Ular o'z shakllarini saqlab qoladi va uzoq vaqt ishlagandan keyin ham ko'p ifloslanishga olib kelmaydi. Odamlar ko'pincha shu sababga ko'ra kvartsdan voz kechishadi, ayniqsa texnik xizmat ko'rsatish juda tez-tez sodir bo'lganda.

O'yib ishlov berish uchun SiC ko'pincha shunchaki plazmada uzoqroq yashagani uchun tanlanadi. Kremniy qismlariga nisbatan umr ko'rish farqi ko'plab sozlamalarda sezilarli, garchi bu hali ham aniq jarayonga bog'liq bo'lsa ham. Bu shuningdek, tugunlar qisqargan sari sezgirroq bo'ladigan zarrachalarni boshqarishda ham biroz yordam beradi. Shuningdek, SiC ning MOCVD yoki CVD da susseptor sifatida ishlatilishini ko'rasiz. Bunday hollarda, gap "kuch" haqida emas, balki haroratni barqaror saqlash haqida. Bundan tashqari, u laynerlar yoki dush kallaklari kabi kamera qismlarida va ba'zan komponentlarni qayta ishlashda ham namoyon bo'ladi.