Gaz taqsimlash plitasi 0020-31624

Ilg'or yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda jarayonning bir xilligi va plazma barqarorligi jarayon kamerasi ichidagi gaz yetkazib berishning aniqligiga bog'liq. Gaz taqsimlash plitasi (GDP), shuningdek, dush kallagi plitasi sifatida ham tanilgan, plazma asosidagi yarimo'tkazgich uskunalarida barqaror cho'ktirish va o'yib ishlov berish samaradorligiga erishish uchun eng muhim komponentlardan biridir. Semixlab talabchan plastinka ishlab chiqarish muhitlari uchun ishlab chiqilgan yuqori sifatli almashtirish va moslashtirilgan yarimo'tkazgich gaz taqsimlash komponentlarini taqdim etadi.

Mahsulotning umumiy ko'rinishi

AMAT 0020-31624 Gaz taqsimlash plitasi - bu Applied Materials (AMAT) yarimo'tkazgichli ishlov berish tizimlarida keng qo'llaniladigan aniq ishlab chiqilgan gaz oqimini taqsimlash komponenti.

Yuqori bir xillikdagi plazma muhitlari uchun mo'ljallangan ushbu komponent jarayon gazlarini plastinka yuzasi bo'ylab aniq va barqaror yetkazib berishni ta'minlaydi, bu esa jarayonning mukammal mustahkamligini, plyonka bir xilligini va plazma barqarorligini saqlashga yordam beradi.

Key Xususiyatlar:

● Yuqori aniqlikdagi gaz taqsimlash tuzilishi

● Plazma korroziyasiga mukammal qarshilik

● Zarrachalarning past hosil bo'lishi

● Optimallashtirilgan oqim dinamikasi dizayni

● Plazma ishlov berish sharoitida yuqori issiqlik barqarorligi

● Yarimo'tkazgichlarni cho'ktirish va o'yib ishlov berish uchun mos keladi

AMAT tizimlaridagi odatiy rollar

AMAT plazma ishlov berish tizimlarida gaz taqsimlash plitasi odatda ishlov berish kamerasining yuqori qismida, to'g'ridan-to'g'ri plastinka ishlov berish maydonining ustida o'rnatiladi.

Uning asosiy vazifasi plastina yuzasi bo'ylab barqaror gaz oqimi va plazma zichligini saqlab turish bilan birga, jarayon gazlarini plazma reaksiya zonasiga bir tekis taqsimlashdir.

Asosiy funktsiyalar quyidagilarni o'z ichiga oladi:

1. Gazni bir tekis taqsimlash jarayoni

YaIM quyidagi kabi gazlarni aniq taqsimlaydi:

SiH₄, NH₃, CF₄, O₂, NF₃, Ar

2. Plazma bir xilligini boshqarish

Gaz taqsimlash plitasining dizayni va teshik shakli quyidagilarga bevosita ta'sir qiladi:

● plazma zichligi taqsimoti

● ionlarning bir xilligi

● reaksiya izchilligi

3. Oqim maydonini optimallashtirish

Ilg'or YaIM tuzilmalari quyidagilarni optimallashtirishga yordam beradi:

● gazda qolish vaqti

● oldindan aralashtirish samaradorligi

● kamera oqim dinamikasi

YaIM muvaffaqiyatsizlikka uchraganda nima bo'ladi?

Gaz taqsimlash plitasi kameradagi gaz oqimining harakatini bevosita boshqarganligi sababli, komponentning degradatsiyasi yoki ifloslanishi jarayon samaradorligi va ishlab chiqarish rentabelligiga sezilarli darajada ta'sir qilishi mumkin.

Umumiy nosozlik muammolari quyidagilarni o'z ichiga oladi:

1. Gaz oqimining notekisligi

Bloklangan yoki eroziyalangan gaz teshiklari gazning notekis taqsimlanishiga olib kelishi mumkin, natijada:

● plyonka qalinligining o'zgarishi

● notekis o'ymakorlik

● beqaror plazma xatti-harakati

2. Zarrachalar hosil bo'lishining ortishi

Sirt eroziyasi yoki qoplamaning degradatsiyasi kameraga zarrachalarni kiritishi, ifloslanish xavfini va hosildorlikning pasayishini oshirishi mumkin.

3. Plazma beqarorligi

Shikastlangan GDP sirtlari plazma xususiyatlarini o'zgartirishi va quyidagilarga ta'sir qilishi mumkin:

● cho'kma izchilligi

● o'yib ishlanganlikning takrorlanishi

● kamera jarayonining barqarorligi

● Jarayon rentabelligining pasayishi

Ilg'or yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda hatto GDPning ozgina degradatsiyasi ham plastinka darajasidagi nuqsonlarga va ishlab chiqarish samaradorligining pasayishiga olib kelishi mumkin. Shu sababli, GDP komponentlarini muntazam tekshirish, texnik xizmat ko'rsatish va almashtirish yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning barqaror ishlashi uchun juda muhimdir.

AMAT 0020-31624 Gaz taqsimlash plitasi yarimo'tkazgich kamerasining muhim komponenti bo'lib, u aniq gaz taqsimlanishi va plazma bir xilligini ta'minlaydi, barqaror cho'ktirish, o'yib ishlov berish samaradorligi va yuqori mahsuldor yarimo'tkazgich ishlab chiqarishni bevosita qo'llab-quvvatlaydi.

Nima uchun Semixlab ni tanlash kerak?

Semixlab’da biz yuqori haroratli, plazma intensiv va ifloslanishga sezgir ilovalar uchun ishlab chiqilgan ilg‘or yarimo‘tkazgichli jarayon komponentlariga ixtisoslashganmiz.

Biz quyidagilarni ta'minlaymiz:

● Nozik yarimo'tkazgichli almashtirish qismlari

● Maxsus YaIM ishlab chiqarish yechimlari

● Ilg'or material muhandisligi yordami

● Yuqori tozalikdagi yarimo'tkazgichli jarayon komponentlari

butun dunyo bo'ylab yarimo'tkazgich fabrikalari, OEMlar va ilg'or jarayonlarni ishlab chiqish muhitlari uchun.

Jarayon talablaringiz uchun ishonchli yarimo'tkazgich kamerasi komponentlari yechimlarini o'rganish uchun bugun Semixlab bilan bog'laning.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda odatiy qo'llanmalar

Gaz taqsimlash plitalari plazma bilan yaxshilangan yarimo'tkazgichli jarayonlarda keng qo'llaniladi, bu yerda aniq gaz yetkazib berish va plazmaning bir tekis taqsimlanishi juda muhimdir.

1. PECVD (Plazma bilan kuchaytirilgan kimyoviy bug'lanish)

YaIM quyidagi hollarda muhim rol o'ynaydi:

● SiNx cho'kmasi

● SiO₂ cho'kmasi

● passivatsiya qatlamining shakllanishi

● dielektrik yupqa plyonkali ishlov berish

2. Plazma bilan ishlov berish

Yarimo'tkazgichli o'yib ishlov berish tizimlarida GDP plazmani barqarorlashtirishga va gaz oqimini qayta ishlashga yordam beradi:

● dielektrik o'yib ishlov berish

● oksidli o'ymakorlik

● o'tkazgichni o'yib ishlov berish

● kamerani tozalash jarayonlari

3. KVH / ALD ning ilg'or jarayonlari

Ba'zi cho'ktirish tizimlarida gaz taqsimlash plitalari quyidagilarni qo'llab-quvvatlash uchun ham ishlatiladi:

● oldingi ajratish

● impulsli gazni boshqarish

● past zarrachali yupqa plyonkali ishlov berish