EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC keramik membranasi
Semixlab Semiconductor tomonidan ishlab chiqilgan SiC Ceramic Membrane - bu CVD, MOCVD va PECVD jarayonlarida ultra toza va yuqori haroratli muhitlar uchun mo'ljallangan, nozik ishlab chiqilgan gözenekli kremniy karbid komponenti. Favqulodda kimyoviy barqarorlik, mexanik kuch va issiqlik o'tkazuvchanligi bilan u yarimo'tkazgich ishlab chiqarish reaktorlarida ishonchli gaz oqimini boshqarish, zarrachalarni filtrlash va ifloslanishning oldini olishni ta'minlaydi.
Tavsif
Ilg'or yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda SiC Ceramic Membrane jarayonning barqarorligi, gofretning bir xilligi va umumiy rentabellik ko'rsatkichlariga bevosita ta'sir qiluvchi ko'p funktsiyali komponent bo'lib xizmat qiladi. CVD, MOCVD va PECVD tizimlarida u texnologik gazlar va reaktsiya muhiti o'rtasidagi muhim interfeys vazifasini bajaradi, oqim dinamikasi, issiqlik muvozanati va ifloslanishni bostirishning aniq nazoratini ta'minlaydi.
SiC membranasi o'zining yuqori darajada bir xildagi gözenekli arxitekturasi orqali gofret yuzasi bo'ylab laminar va teng taqsimlangan gaz etkazib berishga yordam beradi. Ushbu yagona oqim maydoni prekursor kontsentratsiyasidagi mahalliy o'zgarishlarni minimallashtiradi va shu bilan epitaksial yoki dielektrik cho'kma paytida plyonka qalinligi bir xilligini va kompozitsion mustahkamlikni oshiradi. Shu bilan birga, membrananing nozik gözenek tuzilishi samarali yuqori haroratli zarrachalar filtri vazifasini bajaradi, kondensatlarni, uglerod qoldiqlarini va submikron zarralarini faol gofret zonasiga yetmasdan oldin ushlab turadi - nuqson zichligini kamaytirish va qurilmaning yuqori ishonchliligini ta'minlashning muhim omili.
Oqim va filtrlashdan tashqari, SiC seramika matritsasi texnologik kamerada mustahkam termal va kimyoviy to'siqni ta'minlaydi. U sezgir komponentlarni reaktiv turlardan ajratib turadi, orqadan ifloslanishni yumshatadi va ishlab chiqarishning uzaytirilgan davrlarida kamera tozaligini saqlaydi. Egzoz hududlarida bosimni barqarorlashtirish va qoldiq yon mahsulotlarni ushlab turish uchun bir xil membrana texnologiyasidan foydalanish mumkin, bu esa egzoz liniyalarining tozalanishiga va uzoqroq texnik xizmat ko'rsatish oralig'iga yordam beradi.
Ushbu funktsiyalarni yagona mustahkam komponentga birlashtirgan holda, SiC Ceramic Membrane nafaqat CVD va MOCVD reaktorlarining ishlash samaradorligini oshiradi, balki keyingi avlod yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning qattiq tozaligi va ishlash talablariga javob beradigan barqaror va takrorlanadigan jarayon muhitini ham ta'minlaydi.
SiC keramik membranasi qanday tayyorlanadi
Semixlab mahsulotlar do'koni
