SiC qo'shish halqasi 0200-21111

AMAT 0200-21111 SiC Insert Ring - bu amaliy materiallar yarimo'tkazgichli ishlov berish asboblarida keng qo'llaniladigan yuqori samarali kremniy karbid (SiC) kamera komponenti. Ekstremal plazma va yuqori haroratli muhitlar uchun ishlab chiqilgan bo'lib, u jarayon barqarorligini saqlab qolish bilan birga kamera apparatini himoya qilishda muhim rol o'ynaydi.

Mahsulot turi va materiali

Mahsulot turi: Ring / Palata Astar Komponentini joylashtiring

Material: Yuqori tozalikdagi kremniy karbid (SiC)

Dizayn funktsiyasi: Plazma ta'siriga uchragan kamerali hududlar uchun aşınmaya bardoshli, yuqori haroratli qo'shimcha

Asosiy material xususiyatlari:

● Yuqori qattiqlik va aşınmaya bardoshlilik: Kamera devorlarini plazma eroziyasidan himoya qiladi

● Istisno issiqlik barqarorligi: 600°C dan yuqori haroratlarda ishonchli ishlaydi

● Kimyoviy inertlik: Ftor va xlor asosidagi kimyoviy moddalarga chidamli

● Issiqlik o'tkazuvchanligi: issiqlikning bir tekis taqsimlanishini ta'minlaydi va issiq nuqtalarning paydo bo'lishini kamaytiradi

Yarimo'tkazgichli uskunalarda funktsional rollar

0200-21111 SiC Insert Ring aniq ishlab chiqilgan kamerani himoya qilish komponentidir. Uning asosiy funktsiyalari quyidagilarni o'z ichiga oladi:

1. Kamera devorini himoya qilish

● Kvarts, Al₂O₃ yoki metall komponentlarini to'g'ridan-to'g'ri plazma ta'siridan himoya qiladi

● Eroziyani kamaytiradi va komponentlarning xizmat muddatini uzaytiradi

2. Komponentlarni qo'llab-quvvatlash va tekislash

● Astarlar, chekka halqalar va dush boshlari yig'indilarini barqarorlashtiradi

● Konsentriklik va aniq kamera geometriyasini saqlaydi

3. Zarrachalarni boshqarish va jarayon barqarorligi

● Yuqori qattiqlik va silliq SiC sirtlari zarrachalar hosil bo'lishini minimallashtiradi

● Gofretni izchil qayta ishlash uchun plazma bir xilligini oshiradi

Umumiy nosozliklar rejimlari

Jarayon va texnik xizmat ko'rsatish nuqtai nazaridan, asosiy nosozlik mexanizmlari quyidagilarni o'z ichiga oladi:

● Plazma eroziyasi: Reaktiv gazlarga uzoq vaqt ta'sir qilish natijasida asta-sekin material yo'qotilishi

● Termik stressli yorilish: Tez termik sikl natijasida hosil bo'lgan mikro-yoriqlar

● Qirralarning yorilishi va mexanik aşınma: Noto'g'ri o'rnatish yoki ishlatish natijasida shikastlanish

● Zarrachalar ifloslanishi: Yuzaki degradatsiya mikrozarrachalarning ko'payishiga olib keladi

● O'lchovli siljish: Geometriyadagi kichik o'zgarishlar kameraning muhrlanishiga yoki hizalanishiga ta'sir qiladi

Semixlab muhandislik istiqboli

0200-21111 SiC Insert Ring kameraning uzoq muddatli sog'lig'i va jarayonlarning takrorlanishi uchun juda muhimdir.

Faol jarayon komponenti bo'lmasa-da, uning degradatsiyasi quyidagilarga bevosita ta'sir qilishi mumkin:

● Plazma bir xilligi va aşındırma/cho'ktirish konsistentsiyasi

● Plitalar nuqsoni zichligi va hosildorligi

● Asboblar jarayoni oynasining umumiy barqarorligi

Tavsiya etilgan amaliyotlar:

● Har bir PM siklda mikro yoriqlar va sirt aşınmasını tekshiring

● O'rnatish vaqtida metall va keramika aloqasidan saqlaning

● Foydalanish va plazma ta'sir qilish ko'rsatkichlariga asoslanib vaqti-vaqti bilan almashtirib turing

Ushbu yondashuv uskunaning maksimal darajada ish vaqtini, jarayonning izchil ishlashini va zarrachalar bilan bog'liq nuqsonlarni minimallashtirishni ta'minlaydi.