EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
MOCVD uchun SiC qoplangan grafitli isitgich
Semixlab SiC bilan qoplangan Graphite MOCVD isitgichi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlari uchun mo'ljallangan yuqori samarali isitiladigan tashuvchi bo'lib, u ultra yuqori tozalikdagi grafit substrat yuzasida bir xil, zich kremniy karbid (SiC) qoplamasini hosil qilish uchun kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) dan foydalanadi.
Tavsif
Mahsulotlar batafsil
SiC qoplangan grafit MOCVD isitgichi grafitning mukammal issiqlik o'tkazuvchanligini SiC qoplamalarining yuqori harorat va korroziyaga chidamliligi bilan birlashtiradi va gofret epitaksisining o'sish jarayonlarida barqarorlik va yuqori tozalikni ta'minlash uchun metall-organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish (MOCVD) uskunalarida keng qo'llaniladi.
SiC qoplangan grafitli MOCVD isitgich mahsulotining xususiyatlari
1. Ultra yuqori tozalik va kimyoviy barqarorlik
Soflik ≥99.99995%: Bizning grafit isitgichimiz CVD jarayoni orqali yuqori haroratli xlorlash ostida tayyorlanadi, bu metall aralashmalarning ifloslanishini samarali oldini oladi va yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda ultra toza muhitga bo'lgan talabni qondiradi.
Kimyoviy korroziyaga qarshi: SiC qoplamasining zich va yuqori qattiqligi (Vickers qattiqligi 2500-2800) kislotalar, gidroksidi, tuzlar va organik erituvchilarning eroziyasiga qarshi turishi mumkin, bu esa korroziy gaz muhitida uskunaning ishlash muddatini uzaytiradi.
2. Yuqori haroratga mukammal qarshilik
Yuqori harorat barqarorligi: u inert atmosferada 3000 ° C gacha, vakuum muhitida 2200 ° C gacha barqaror ishlashga va MOCVD reaktsiya kamerasining ekstremal sharoitlariga mos keladigan oksidlovchi muhitda 1600-1700 ° C gacha bardosh bera oladi.
Past issiqlik kengayish koeffitsienti (4.5 x 10-⁶K-¹): MOCVD grafit isitgichning bu xususiyati harorat o'zgarishi sababli qoplamaning yorilishi yoki tozalanishini samarali ravishda kamaytiradi va uzoq muddatli termal aylanish sharoitida strukturaning yaxlitligini ta'minlaydi.
3. Optimallashtirilgan issiqlik boshqaruvi ishlashi
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (200-300 Vt / mK): Grafit MOCVD isitgichining yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi mahsulotning gofret yuzasi haroratining barqaror taqsimlanishiga (± 1 ° C) erishish uchun issiqlikni tez va bir xilda o'tkazishi mumkinligini aniqlaydi va shu bilan epitaksial qatlamning bir xilligini samarali ravishda yaxshilaydi.
Laminar gaz oqimi maydonini loyihalash: Uzluksiz texnologiyani takrorlash va yangilashdan so'ng, bizning MOCVD isitgich sirtining silliqligi (Ra ≤ 0.8 mikron) va geometriyani optimallashtirish reaktiv gazlarning bir xil taqsimlanishini ta'minlaydi va turbulentlik tufayli cho'kmaning bir xil bo'lmasligini kamaytiradi.
Texnik xususiyatlari
Texnik parametrlarni taqqoslash va afzalliklari
| xususiyatlari | Semixlab SiC qoplamali isitgichlar | An'anaviy grafitli isitgichlar |
| Maksimal ish harorati (inert) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Kimyoviy poklik | ≥99.99995% | ≤99.99 |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi | 300 Vt/mK | 120-150 Vt/mK |
| Qoplamaning yopishqoqligi | 415 MPa (4 nuqtali egilish) | 100-200 MPa |
| Oddiy hayot (tsikllar) | > 500 tsikl | 100-200 tsikl |
raqobat afzalligi
Nima uchun Semixlab?
Moslashtirish: Semixlab mijozlarimizga moslashtirilgan mahsulotlar va texnik xizmatlarni taqdim etishga sodiqdir. Biz uskunalarning keng doiradagi ehtiyojlarini qondirish uchun nostandart o'lchamlarni (diametri 360 mm gacha) va qoplama qalinligini (20-500 mikron) sozlashni qo'llab-quvvatlaymiz.
Global sertifikatlash: Bizning SiC qoplangan grafit isitgichimiz YARIMI mos, ISO 9001 sertifikatiga ega va mahsulotimiz asosan Evropa va Qo'shma Shtatlarga, shuningdek, Yaponiya va Janubiy Koreyaga sezilarli narx / ishlash ustunligi bilan eksport qilinadi.
Texnik sinergiya: Semixlab qoplama zichligi va termal zarba qarshiligini optimallashtirish uchun patentlangan qoplama texnologiyalaridan (masalan, CGT Carbonning SiC³ jarayoni) foydalangan holda Xitoyning eng yaxshi ilmiy-tadqiqot institutlari bilan uzoq vaqtdan beri yaqin hamkorlik qilib kelmoqda.
