EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yarim o'tkazgichli kvarts vannasi
Tez tafsilot:
1.Boshqa nomlar: Yarimo'tkazgichli kvarts tanki, yarim o'tkazgich uchun kvarts vannasi, yarim o'tkazgich uchun kvarts tanki.
2.Ilova: Yarimo'tkazgichli kvarts vannasi yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda nozik tozalash va kimyoviy ishlov berish uchun maxsus ishlab chiqilgan yuqori toza, korroziyaga chidamli komponent hisoblanadi. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L tizimiga muvofiqlik uchun mo'ljallangan ushbu kvarts vannasi yuqori harorat sharoitida (175°C gacha) ishlaydi va fosfor kislotasi (H₃PO₄) eritmalari bilan foydalanish uchun optimallashtirilgan bo'lib, muhim gofretni tozalash jarayonlarida ajoyib samaradorlikni ta'minlaydi.
3. Asosiy parametrlar:
Eritilgan kvarts (>99.99% SiO₂).
Yuqori haroratlarda H₃PO₄ (fosfor kislotasi) ga nisbatan ajoyib kimyoviy inertlik, parchalanish yoki zarrachalar hosil bo'lishini oldini oladi.
160 ° C haroratda uzluksiz ishlashga va 175 ° C gacha bo'lgan eng yuqori haroratga bardosh beradi, strukturaviy yaxlitlik va o'lchov barqarorligini saqlaydi.
Tavsif
Yarimo'tkazgichli kvarts vannasi yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda nozik tozalash va kimyoviy ishlov berish uchun maxsus ishlab chiqilgan yuqori toza, korroziyaga chidamli komponentdir. WS-620C/ WS-820C/ WS-820L tizimiga muvofiqlik uchun mo'ljallangan ushbu kvarts vannasi yuqori harorat sharoitida (175°C gacha) ishlaydi va fosfor kislotasi (H₃PO₄) eritmalari bilan foydalanish uchun optimallashtirilgan bo'lib, muhim gofretni tozalash jarayonlarida ajoyib samaradorlikni ta'minlaydi.
kalit Xususiyatlar
Moddiy ustunlik
Yuqori toza kvarts: sintetik eritilgan kvartsdan (>99.99% SiO₂) ishlab chiqarilgan bo'lib, minimal ifloslanishni va termal zarbaga chidamliligini ta'minlaydi.
Kislota qarshiligi
Yuqori haroratlarda H₃PO₄ (fosfor kislotasi) ga nisbatan ajoyib kimyoviy inertlik, parchalanish yoki zarrachalar hosil bo'lishini oldini oladi.
Issiqlik barqarorligi
160 ° C haroratda uzluksiz ishlashga va 180 ° C gacha bo'lgan eng yuqori haroratga bardosh beradi, strukturaning yaxlitligi va o'lchov barqarorligini saqlaydi.
Ishlashning afzalliklari
Kontaminatsiyani nazorat qilish: Ultra silliq sirt qoplamasi zarrachalarning yopishishini kamaytiradi, bu mikron osti yarimo'tkazgich tugunlari jarayonlari uchun juda muhimdir.
Uzoq umr ko'rish: Kvarsning kislotali korroziyaga va termal charchoqqa chidamliligi xizmat muddatini uzaytiradi, ishlamay qolish va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytiradi.
Jarayonning izchilligi: Barqaror issiqlik o'tkazuvchanligi haroratning bir xil taqsimlanishini ta'minlaydi, tozalash samaradorligini va takrorlanishini oshiradi.
Nima uchun Semixlab yarimo'tkazgichli kvarts vannasini tanlaysiz?
Yarim o'tkazgich darajasidagi sifat: SEMI standartlariga javob beradigan toza xonada ishlab chiqariladi.
Moslashtirilgan yechimlar: Muayyan jarayon talablariga mos keladigan maxsus dizaynlar mavjud.
Ishonchlilik: Qattiq sifat sinovi yarimo'tkazgich sanoati talablariga muvofiqligini ta'minlaydi.
Texnik xususiyatlari
| Mexanik xususiyat | Zichlik (g/sm3) | 2.2 |
| Mohsning qattiqligi | 6-7 | |
| Siqilish kuchi (MPa) | 1100 | |
| Kuchlanish kuchi (N/mm2) | 50 | |
| Bukilish kuchi (N/mm2) | 65 | |
| Burilish kuchi (N/mm2) | 30 | |
| Young moduli (MPa) | 7.2x104 | |
| Puassonning nisbati | 0.16 | |
| Issiqlik xususiyatlari | Issiqlik kengayish koeffitsienti (20 ~ 320 ℃, k-1) | 5.5x10-7 |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi (20 ℃, Vt · m-1k-1) | 1.4 | |
| Maxsus issiqlik (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Yumshatish nuqtasi (℃) | 1700 | |
| Yuvish nuqtasi (℃) | 1180 | |
| Kuchlanish nuqtasi (℃) | 1080 | |
| Elektr xususiyati | Elektr qarshiligi (Ō·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektrik doimiy (10 gigagertsli) | 3.74 | |
| Dielektrik yo'qotish (10 gigagertsli) | 0.0002 | |
| Dielektrik quvvat (V·m-1) | 3.7x107 |
ilovalar
Gofretni tozalash: H₃PO₄ asosidagi eritmalardagi fotorezist, qoldiqlar va ifloslantiruvchi moddalarni kesish yoki litografiyadan keyin olib tashlash.
Yuqori haroratli jarayonlar: Yuqori haroratlarda agressiv kimyoviy moddalarni talab qiladigan ilg'or yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish bosqichlari uchun javob beradi.
Moslik: WS-620C/ WS-820C/ WS-820L tizimi uchun mantiqiy, xotira yoki quvvat qurilmalarini ishlab chiqaruvchi zavodlarda ideal.
