Silikon karbid Sic gözenekli keramik disk

Name: Silikon karbid Sic gözenekli keramik disk
Brand: Semixlab
Price: 60.0 USD
Availability: InStock
Rating: 5 (18 reviews)

Semixlab kompaniyasining Silicon Carbide (SiC) gözenekli keramik diski aniqlik, tozalik va chidamlilikni talab qiladigan yuqori samarali yarimo'tkazgichli gofretni qayta ishlash dasturlari uchun mo'ljallangan. Boshqariladigan mikro-g'ovaklik, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va kimyoviy inertlik bilan ushbu komponent vakuumli chucking, CMP (Kimyoviy mexanik polishing), epitaksiya va gofret bilan ishlash tizimlarida hal qiluvchi rol o'ynaydi.

MA'LUMOT

Tavsif

Quyidagilar uchun ideal: CMP platformalari, MOCVD epitaksi reaktorlari, gofret uzatish modullari, plazma tozalash tizimlari va ESC substrat yig'malari.

Ⅰ. Materialning tarkibi va jismoniy xususiyatlari

Yuqori toza SiC seramika tuzilishi

≥99.9% ultra-sof a-SiC yoki b-SiC kukunlaridan tayyorlangan, har bir g'ovakli disk nozik boshqariladigan sinterlash va infiltratsiya jarayonlari orqali ishlab chiqariladi. Natijada ekstremal ishlov berish muhitida barqaror gaz oqimi va mexanik yaxlitlikni ta'minlaydigan yagona gözenek tarmog'i.

Asosiy texnik xususiyatlar:

mulk	spetsifikatsiyasi
ashyo	a-SiC / b-SiC
Poklik	≥99.9%
Ko'pchilik	10–40% (sozlanishi mumkin)
Teshik hajmi	0.1–10 mkm
Termal o'tkazuvchanlik	120–200 Vt/m·K
Maksimal ish harorati	1600-1800 ° C
qattiqligi	Mohs 9.3
Kimyoviy qarshilik	HF, HCl, Cl₂, H₂da juda yaxshi
zichlik	2.8–3.1 g/sm³

Ishlash ko'rsatkichlari:

● Yagona vakuum o'tkazuvchanligi: g'ovaklarni aniq taqsimlash gofret yuzasi bo'ylab muvozanatli gaz oqimini ta'minlaydi.

● Zo'r termal barqarorlik: yuqori haroratli velosipedda mexanik yaxlitlikni saqlaydi.

● Kam zarracha hosil bo'lishi: Sayqallangan SiC sirtlari ifloslanish xavfini kamaytiradi.

● Yuqori chidamlilik: agressiv kimyoviy va plazma muhitlarida ham xizmat muddatini uzaytiradi.

Ⅱ. Umumiy jarayon muammolari va Semixlab yechimlari

Challenge	Eng boshlang'ich sabab	Semixlab yechimlari
Noto'g'ri vakuumli assimilyatsiya	Bir xil bo'lmagan teshik hajmi yoki tiqilib qolishi	Boshqariladigan gözenek hajmini taqsimlash va davriy plazma tozalash
Zarrachalar bilan ifloslanish	Termal velosipeddan mikro yoriqlar	Sirtni mustahkamlash uchun CVD SiC qoplamasini qo'llang
Termal bir xillik	Noto'g'ri zichlik yoki ifloslanish	Yuqori o'tkazuvchanlik SiC (>150 Vt/m`K) va silliqlangan yuzalardan foydalaning
Kimyoviy eroziya	HF yoki Cl ga asoslangan gazlarga uzoq vaqt ta'sir qilish	Korroziyaga chidamliligini oshirish uchun zich CVD SiC gibrid sinterlashni qabul qiling
Vaqt o'tishi bilan mexanik kuchning pasayishi	Takroriy gofret yuklash stressi	Singan chidamliligini yaxshilash va xizmat muddatini uzaytirish uchun ikkilamchi infiltratsiya

Semixlab-ning xususiy materiallar nazorati va sirt muhandisligi bir nechta texnologik tsikllarda barqaror ishlash, uzoq muddatli ishonchlilik va uskunaning ishlamay qolish vaqtini qisqartirishni ta'minlaydi. Qo'shimcha texnik maslahat va mahsulotni sozlash xizmatlari uchun biz bilan maslahatlashishga xush kelibsiz.

ilovalar

Yarimo'tkazgich jarayonlarida qo'llanilishi

1. Gofretni vakuum bilan kesish va ishlov berish

G'ovakli SiC disklari vakuumli chuck plitalari yoki gofret yuklash va uzatish tizimlarida tashuvchi tayanch sifatida keng qo'llaniladi. Ularning aniq ishlab chiqilgan g'ovakligi bir xil vakuumli assimilyatsiya qilishni ta'minlaydi, gofret deformatsiyasini yo'q qiladi va tekislash aniqligini oshiradi.

2. Kimyoviy mexanik jilo (CMP)

CMP paytida g'ovakli SiC disk tashuvchi yoki qo'llab-quvvatlovchi plastinka bo'lib xizmat qiladi va quyidagilarga imkon beradi:

● Hatto atala taqsimoti

● Barqaror gofretni qo'llab-quvvatlash

● Planarlik va nuqsonlarni nazorat qilish yaxshilandi

An'anaviy alumina yoki kvarts bilan solishtirganda, SiC yuqori qattiqlik va issiqlik o'tkazuvchanligini ta'minlaydi, bu esa uzoq umr ko'rishni va jarayonning mustahkamligini ta'minlaydi.

3. Epitaksiya va yuqori haroratli ishlov berish

MOCVD va LPE epitaksial reaktorlarida SiC gözenekli disk termal sezuvchi asos yoki qo'llab-quvvatlovchi platforma sifatida ishlaydi, bu quyidagilarni ta'minlaydi:

● Gofret bo'ylab bir xil issiqlik uzatish

● Barqaror epitaksial qatlam qalinligi

● Reaktiv texnologik gazlarga nisbatan yuqori qarshilik

4. Nam va plazma tozalash tizimlari

Kimyoviy va plazma korroziyaga chidamliligi tufayli gözenekli SiC disk nam skameykalarda va tozalash kameralarida gaz diffuziya plitasi yoki kimyoviy filtrlash substrati sifatida samarali ishlaydi.

5. ESC (Elektrostatik Chuck) tayanch qatlami

Ilg'or gofret bosqichlarida gözenekli SiC keramika ESC uchun termal asos bo'lib xizmat qiladi va gofret haroratini aniq nazorat qilish uchun mukammal issiqlik o'tkazuvchanligi va elektr izolyatsiyasini birlashtiradi.