EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Yarimo'tkazgichlar uchun yuqori tozalikdagi izostatik grafit
Yuqori toza izostatik grafit yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda asosiy ilg'or materialdir, uning termal bir xilligi, o'lchov aniqligi va ifloslanishsiz ishlashi bilan izostatik grafit MOCVD, RTP, diffuziya va SiC epitaxy kabi yarimo'tkazgich jarayonlarini rivojlantirishda ajralmas bo'lib qoladi. Uning bir xil zichligi va mukammal ishlov berish qobiliyati murakkab, yuqori samarali komponentlarni aniq ishlab chiqarish imkonini beradi. Keyingi maslahatlashuvingizni kutaman.
Tavsif
Texnik xususiyatlari
| Izostatik grafitning fizik xossalari | ||
| mulk | birlik | Odatda qiymat |
| Yig'ma zichligi | g / sm³ | 1.83 |
| qattiqligi | HSD | 58 |
| Elektr chidamliligi | mŌ.m | 10 |
| Flexural kuch | MPa | 47 |
| Bosim kuchi | MPa | 103 |
| Mustahkamlik chegarasi | MPa | 31 |
| Yosh moduli | Gpa | 11.8 |
| Termal kengayish (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi | V·m-1· K-1 | 130 |
| O'rtacha don hajmi | mkm | 8-10 |
| Ko'pchilik | % | 10 |
| Ash tarkib | ppm | ≤5 (tozalangandan keyin) |
ilovalar
Semixlab Yuqori tozaligi, nozik don tuzilishi, bir xil zichligi, termal zarbaga chidamliligi va mukammal ishlov berish qobiliyati tufayli yarimo'tkazgich sanoatida keng qo'llaniladigan izostatik grafit. Quyida asosiy tayyor mahsulotlar va ularning muhim jarayonlardagi tegishli rollari keltirilgan:
Yarimo'tkazgich ilovalari uchun izostatik grafit
1. MOCVDda (metall-organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish)
MOCVD GaN, GaAs va SiC ning epitaksial qatlamlarini ishlab chiqarish uchun asosiy jarayondir. Izostatik grafit odatda ishlab chiqarish uchun ishlatiladi:
● Sutseptorlar: gofretlarni reaktor ichida ushlab turuvchi va aylantiruvchi gofret tashuvchi sifatida xizmat qiladi. Ular gofret yuzasi bo'ylab izchil epitaksial o'sishni ta'minlab, bir xil issiqlik uzatishni ta'minlaydi. Kimyoviy qarshilikni yaxshilash va xizmat muddatini uzaytirish uchun odatda CVD SiC yoki TaC bilan qoplangan.
● Gofret tashuvchilar / grafit qayiqlari: bir vaqtning o'zida bir nechta gofretlarni yuklash uchun ishlatiladi. Gofret tekisligini saqlash va ifloslanishni oldini olish uchun ular aniq ishlov berishni talab qiladi.
● Isitgich elementlari: Grafit isitgichlar yuqori sifatli epitaksiya uchun zarur bo'lgan barqaror va bir xil termal maydonlarni ta'minlaydi.
Asosiy rol: Izostatik grafit haroratning bir xilligini, kimyoviy barqarorlikni va uzoq xizmat muddatini ta'minlaydi, bu epitaksial plyonka sifatiga bevosita ta'sir qiladi.
2. Tavlash va diffuziya pechlarida
Dopant diffuziyasi, oksidlanish va tavlanish kabi yuqori haroratli termal ishlov berish bosqichlari asosan izostatik grafit komponentlariga tayanadi, jumladan:
● Diffuziya pechining qayiqlari: gofretlarni yuqori haroratli tavlanish va dopant diffuziya jarayonlarida ushlab turing. Grafit mukammal termal barqarorlikni va takroriy termal aylanishda minimal deformatsiyani ta'minlaydi.
● Astarlar va izolyatsiyalash komponentlari: Grafit qoplamalar va qalqonlar o'choq kameralarini ifloslanishdan himoya qiladi va haroratning bir xilligini oshiradi.
● Isitgich quvurlari va elementlari: yuqori haroratli muhitda aniq va barqaror issiqlikni etkazib beradigan qarshilik isitgichlari sifatida ishlatiladi.
Asosiy rol: Izostatik grafit komponentlari ifloslanishsiz, barqaror va takrorlanadigan issiqlik bilan ishlov berish imkonini beradi, bu esa dopantni faollashtirish va nuqsonlarni kamaytirish uchun juda muhimdir.
3. SiC epitaksiyasida (4H-SiC, 6H-SiC o'sishi)
SiC epitaksial o'sishi juda yuqori harorat (>1500 ° C) va korroziy gaz muhitini talab qiladi. Izostatik grafit ishlab chiqarish uchun ishlatiladi:
● SiC bilan qoplangan ushlagichlar: SiC epitaksisi paytida substratni qo'llab-quvvatlab, ekstremal sharoitlarda mukammal issiqlik taqsimotini va sirt barqarorligini ta'minlaydi.
● Graphite Paddles & Gofret Tutqichlari: Aylanish va gaz oqimi paytida gofretlarni mahkamlang, bir xil o'sish tezligi va qatlam qalinligini ta'minlaydi.
● Proses trubkasi komponentlari: Epitaksiya reaktorlari ichidagi strukturaviy grafit qismlari tozalikni saqlagan holda agressiv muhitga bardosh beradi.
Asosiy rol: SiC epitaksidagi izostatik grafit o'lchov aniqligi, kimyoviy qarshilik va ishonchli termal boshqaruvni ta'minlaydi, bu gofret hosildorligi va epitaksial plyonka bir xilligiga bevosita ta'sir qiladi.
Xitoyda yuqori tozalikdagi izostatik grafitning yetakchi yetkazib beruvchisi sifatida Semixlab yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash sanoati uchun ilg'or mahsulotlar va texnik echimlarni taqdim etishga intiladi. Biz sizning so'rovlaringizni istalgan vaqtda qabul qilamiz va sizning uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishga chin dildan umid qilamiz.
Bizning xizmatlar
Semixlab mahsulotlar do'koni
