Yuqori tozaligidagi g'ovakli grafit

Yuqori tozalikdagi g'ovakli grafit ilg'or yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun juda muhim material bo'lib, uning ajoyib termal barqarorligi, juda past ifloslanish darajasi va jarayonning mustahkamligi eng muhim hisoblanadi. Semixlabning yuqori tozalikdagi g'ovakli grafit eritmalari yuqori haroratli va ifloslanishga sezgir yarimo'tkazgich jarayonlari uchun maxsus ishlab chiqilgan.

Epitaksiya jarayonlarida yuqori tozalikdagi g'ovakli grafit substrat ushlagichlari, plastinka tashuvchilar, gaz taqsimlash tuzilmalari va issiqlik maydoni elementlari kabi asosiy komponentlarda keng qo'llaniladi. Si, SiC va GaN epitaksial o'sishi paytida aniq harorat bir xilligi va barqaror gaz oqimi plyonka qalinligini nazorat qilish, qo'shimcha bir xillik va nuqsonlarni bostirish uchun muhim omillar hisoblanadi. Semixlab grafitining g'ovakli mikrotuzilishi plastinka yuzasi bo'ylab bir tekisroq issiqlik taqsimotini va boshqariladigan gaz diffuziyasini ta'minlaydi, shu bilan chegara qatlamining beqarorligi va chekka effektlarini kamaytiradi.

1000 °C dan yuqori haroratda uzluksiz ishlashni talab qiladigan diffuziya va oksidlanish jarayonlarida yuqori tozalikdagi g'ovakli grafit gofretli qayiqlar, laynerlar va issiqlik izolyatsiyasi komponentlari uchun ishonchli strukturaviy va tayanch material bo'lib xizmat qiladi. Zich grafit bilan solishtirganda, uning g'ovakli tuzilishi takroriy issiqlik aylanishi paytida issiqlik stressi va deformatsiyasini kamaytiradi, o'lchovli barqarorlikni oshiradi va komponentlarning ishlash muddatini uzaytiradi. Uning o'ziga xos kimyoviy inertligi va past aralashma miqdori toza jarayon muhitini saqlashga yordam beradi, zarrachalar hosil bo'lishi va o'zaro ifloslanish xavfini minimallashtirish bilan birga qo'shimchalarning diffuziya profillari va oksid plyonkasi sifati ustidan qat'iy nazoratni qo'llab-quvvatlaydi.

CVD, LPCVD va PECVD jarayonlari uchun yuqori tozalikdagi g'ovakli grafit isitgichlar, plastinka tashuvchilar va reaktiv gazlar va yuqori haroratlarga duchor bo'lgan ichki kamera komponentlarida muhim rol o'ynaydi. Materialning ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi tez, bir xil issiqlik uzatilishini ta'minlaydi, uning g'ovakli tuzilishi esa cho'kma qo'shimcha mahsulotlarini nazorat ostida ushlab turish imkonini beradi, uskunaning uzoq muddatli ishlashi paytida parchalanish va zarrachalarning chiqishini minimallashtiradi. Bu jarayonning barqarorligini oshirishga, texnik xizmat ko'rsatish vaqtini uzaytirishga va uskunaning ish vaqtini oshirishga bevosita hissa qo'shadi.

Semixlabning yuqori tozalikdagi g'ovakli grafiti xom ashyo tanlash, tozalash va mikrotuzilma muhandisligini puxta boshqarish bilan qat'iy sifat nazorati tizimi ostida ishlab chiqariladi. Uzoq muddatli xizmat muddati yoki yanada talabchan kimyoviy muhitda ishlash talab etilganda, ushbu mahsulot SiC yoki TaC kabi ilg'or himoya qoplamalari bilan mos keladi. Istisno dizayn moslashuvchanligi, ishlov berish qobiliyati va ilg'or yarimo'tkazgich qoplama texnologiyasidan foydalangan holda, bizning yechimlarimiz sizning yarimo'tkazgich uskunalari platformasi va jarayon tuguningizning aniq talablariga aniq moslashtirilishi mumkin. Biz Xitoyda sizning uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishni chin dildan intiqlik bilan kutamiz.