SiC bilan qoplangan sayyoraviy susseptor

Semixlabning SiC bilan qoplangan sayyoraviy Susceptori keyingi avlod yarimo'tkazgich epitaksiyasi va CVD termik ishlov berish uchun ishlab chiqilgan bo'lib, bu yerda issiqlik bir xilligi, nuqsonsiz o'sish va uzoq muddatli kamera barqarorligi qurilmaning samaradorligi uchun juda muhimdir. Ushbu tashuvchi, ayniqsa, 1500°C dan yuqori haroratli muhitlar va kremniy, SiC va GaN epitaksial tizimlarida keng tarqalgan murakkab gaz kimyosi uchun mo'ljallangan. Maxsus SiC qoplamasi ifloslanishning oldini oluvchi va talabchan ishlab chiqarish fabrikalarida barqaror, uzoq siklli ishlashni ta'minlaydigan zich, yuqori tozalikdagi himoya qatlamini ta'minlaydi.

Si, SiC va GaN o'sishi kabi yarimo'tkazgichli epitaksial jarayonlarda sayyoraviy plastinka tashuvchilar plastinkalarni reaksiya zonasiga tashish uchun asosiy mexanik va issiqlik platformasi bo'lib xizmat qiladi. Ularning optimallashtirilgan issiqlik o'tkazuvchanligi haroratning aniq taqsimlanishini ta'minlaydi, sayyoraviy aylanish tizimi esa bir nechta plastinkalar bo'ylab o'sish sur'atlari, qo'shimchalarning qo'shilishi va kristall sifatidagi bir xillikni ta'minlaydi. SiC quvvat qurilmalarini ishlab chiqarishda hatto ±1-2% substrat haroratining o'zgarishi ham bazal tekislik dislokatsiya zichligi va qurilmaning ishlashiga ta'sir qiladi. SiC bilan qoplangan sayyoraviy plastinka tashuvchilar tomonidan ta'minlangan yaxshilangan issiqlik bir xilligi fabrikalarga nuqson zichligini kamaytirishga, qalinlik bir xilligini yaxshilashga va partiyadan partiyaga hosildorlikni oshirishga yordam beradi.

Epitaksial jarayonlardan tashqari, bu susseptor kimyoviy bug' cho'ktirish diffuziyasi va termal tavlash jarayonlarida ham juda muhim bo'lib, issiqlik manbai va plastinka yuzasi o'rtasida barqaror termal interfeys vazifasini bajaradi. Uning qoldiqsiz, past zarrachali sirt xususiyatlari uzoq muddatli termal sikl davomida ifloslanish xavfini minimallashtiradi, plastinkalarni chuqurchalar, zarrachalar hosil bo'lishi yoki orqa tomondan ifloslanishdan himoya qiladi. An'anaviy grafit asosidagi tayanch yig'ishlar bilan taqqoslaganda, Semixlabning SiC qoplama dizayni xizmat muddatini sezilarli darajada uzaytiradi, tozalash va ta'mirlash uchun ishlamay qolish vaqtini kamaytiradi va yuqori hajmli ishlab chiqarish liniyalari uchun arzonroq xarajatlarni ta'minlaydi.

Har bir Semixlab SiC bilan qoplangan sayyoraviy Susceptor yuqori tozalikdagi grafit substratlari va ilg'or CVD SiC qoplama cho'ktirish texnologiyasi yordamida ishlab chiqariladi, bu esa qoplamaning yopishish kuchini, qalinlikning bir xilligini va termal zarbalarga chidamliligini ta'minlaydi. Mahsulot asosiy yarimo'tkazgich uskunalarini ishlab chiqarishda qo'llaniladigan yetakchi epitaksial platformalarga moslashish uchun sozlanishi mumkin bo'lgan o'lchamlar va konfiguratsiyalarni taklif etadi. Semixlabning texnik xizmatlari qoplama samaradorligini baholash, kameraning mosligi bo'yicha konsalting va hayot aylanishini boshqarishni o'z ichiga oladi, bu fabrikalarning quvvatini kengaytirish, hosildorlikni saqlash va uskunalarni ishlab chiqarish sikllarini yaxshilashga yordam berish uchun mo'ljallangan. Biz sizning keyingi so'rovlaringizni chin dildan kutamiz.