Silikon karbid qoplamali grafit patnis

Silikon karbid qoplamasi uchun Semixlab maxsus grafit xomashyosi

Semixlab Technology-da bizning kremniy karbid (SiC) bilan qoplangan grafit tovoqlarimiz haddan tashqari haroratlar, korroziy gazlar va o'ta toza sharoitlar birlashadigan eng talabchan yarimo'tkazgichli jarayon muhitlarida ishonchli ishlash uchun ishlab chiqilgan. Ushbu tovoqlar yuqori zichlikdagi izostatik grafitning termal va mexanik afzalliklarini zich CVD silikon karbid qoplamasining ajoyib kimyoviy barqarorligi va sirt yaxlitligi bilan birlashtiradi. Natijada, jarayonning bir xilligini, hosilning barqarorligini va turli xil oldingi gofret ishlab chiqarish bosqichlarida asbobning ishlash vaqtini ta'minlashda muhim rol o'ynaydigan mustahkam, yuqori toza komponent.

Epitaksial o'sish tizimlarida, shu jumladan kremniy (Si) va kremniy karbid (SiC) epitaksisi - SiC bilan qoplangan grafit patnis aniq gofret tashuvchisi yoki sezgir asos sifatida ishlaydi. U plyonka qalinligi, dopantning bir xilligi va kristal sifatini nazorat qilish uchun juda muhim bo'lgan gofret yuzasi bo'ylab bir xil harorat taqsimotini saqlab, barqaror mexanik yordam beradi. SiC qoplamasi grafit substratini H₂, HCl va SiHCl₃ kabi reaktiv gazlardan ajratib, uglerod ifloslanishi yoki gaz fazasi reaktsiyalarining oldini oladigan kimyoviy jihatdan inert to'siq vazifasini bajaradi. Uning oynadek silliq yuzasi zarrachalar hosil bo'lishini kamaytiradi va 1650 °C gacha bo'lgan yuqori haroratli muhitda buzilishsiz uzoq muddatli ishlash imkonini beradi.

Silikon karbid qoplamali grafit laganda qo'llash stsenariylari

MOCVD va GaN, GaAs va InP qurilmalarini ishlab chiqarish uchun ishlatiladigan aralash yarimo'tkazgichlarni cho'ktirish jarayonlarida patnis vodorod va ammiak asosidagi kimyoviy moddalarning takroriy ta'siriga bardosh berishi kerak bo'lgan yuqori haroratli gofret tashuvchisi bo'lib xizmat qiladi. SiC qoplamasining yuqori korroziyaga chidamliligi eroziya va sirt pürüzlülüğünün oldini oladi, izchil plyonka morfologiyasini va komponentlarning uzoq umrini ta'minlaydi. Ushbu barqarorlik to'g'ridan-to'g'ri prognoz qilinadigan o'sish sharoitlariga va LED, quvvat va RF qurilmalarini ishlab chiqarish uchun yuqori uskunalar o'tkazuvchanligiga aylanadi.

SiC bilan qoplangan grafit laganda, shuningdek, diffuziya, oksidlanish, tavlanish va tez termal ishlov berish (RTP) muhitlarida hal qiluvchi rol o'ynaydi. Ushbu yuqori haroratli qadamlar davomida patnis gofret tekislanishini ta'minlaydigan, oksidlanishga qarshilik ko'rsatadigan va termal buzilishlarni minimallashtiradigan qo'llab-quvvatlash platformasi sifatida ishlaydi. Uning yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi tez va bir xil issiqlik uzatish imkonini beradi, bu esa haroratni aniq nazorat qilish imkonini beradi va gofretlardagi termal stressni kamaytiradi. SiC to'sig'i qo'shimcha ravishda gaz chiqarish va metallning ifloslanishidan himoya qiladi - ilg'or qurilmalar ishlab chiqarishda hosilni yo'qotishning ikkita asosiy sababi.

Ushbu ilovalarning barchasida Semixlab SiC bilan qoplangan grafit tovoqlar nafaqat mexanik armatura, balki butun ishlab chiqarish bosqichining termal, kimyoviy va tozalik barqarorligini belgilaydigan aniq ishlab chiqilgan texnologik interfeys sifatida ishlaydi. Ilg'or CVD qoplama texnologiyasini, yuqori toza materiallarni tanlash va qat'iy geometrik nazoratni birlashtirgan holda, Semixlab zamonaviy yarimo'tkazgich fabrikalarining qat'iy ishonchliligi va tozalik standartlariga javob beradigan komponentlarni taqdim etadi. Har bir patnis bir nechta texnologik tsikllar davomida takrorlanadigan ishlash uchun mo'ljallangan bo'lib, qurilmaning yuqori rentabelligi, kamroq nuqson zichligi va uskunaning ish vaqtining uzaytirilishiga intilayotgan global ishlab chiqaruvchilar tomonidan talab qilinadigan mustahkamlik va chidamlilikni ta'minlaydi.