Yarimo'tkazgichli kvarts gofretli qayiq

Semixlab Semiconductor Quartz gofret qayiqlari yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda diffuziya, oksidlanish, CVD, tavlanish va boshqalar kabi yuqori haroratli jarayonlar uchun mo'ljallangan asosiy rulman asboblaridir. Ajoyib yuqori haroratga chidamliligi, kimyoviy barqarorligi va past termal kengayish koeffitsientiga ega yuqori toza sintetik kvartsdan ishlab chiqarilgan, jarayonning mustahkamligi va mahsulot rentabelligini ta'minlash uchun qattiq jarayon muhitida gofretlarni barqaror olib yurishi mumkin.

Qo'llaniladigan uskunalar: Gorizontal / Vertikal diffuziya pechining barcha turlari (gorizontal / Vertikal diffuziya pechi), LPCVD tizimi va tez issiqlik bilan ishlov berish (RTP) uskunalari bilan mos keladi.

Sifat tekshiruvi

Qattiq sifat nazorati: 100% geliy massa spektrometriyasi orqali oqish aniqlanadi (oqish tezligi <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Har bir partiya uchun materialning sofligi to'g'risidagi hisobot (ICP-MS testi) beriladi.

Sertifikatlash standartlari: SEMI F47 spetsifikatsiyalariga muvofiq, ISO 9001:2015 sifat menejmenti tizimini sertifikatlash orqali.

Xizmat muddati: normal sharoitda o'rtacha ishlash muddati 2 yildan ortiq (jarayon chastotasi va harorat sharoitlariga qarab).

Nima uchun kvarts qayiqimizni tanlaysiz?

Moslashtirilgan xizmatlar: Uskunalar modeli (TEL, Kokusai, ASM va boshqalar) va jarayon talablariga muvofiq moslashtirilgan o'lcham va qurilish.

Tez javob: Standart etkazib berish muddati 3 hafta, shoshilinch buyurtmalar 10 ish kuniga qisqartirilishi mumkin.

Global xizmat ko'rsatish tarmog'i: Texnik maslahatlar, o'rnatish bo'yicha ko'rsatmalar va sotuvdan keyingi texnik yordam ko'rsatish. Materiallar xususiyatlari.

Loyiha spetsifikatsiyasi

Material sintezi Eritilgan kvarts

Sofligi ≥99.99% SiO₂

Gofret o'lchamiga mosligi 8 ", 12" (sozlanishi 6" yoki 18")

Ishlash harorati ≤1200°C (uzluksiz) / 1300°C (tepalik)

Issiqlik kengayish koeffitsienti (CTE) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Sirt pürüzlülüğü (Ra) ≤0.2 mkm

Standart sig'imi 25/50/100 tabletka

Amaldagi texnologik gazlar O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl va boshqalar.

Yuqori haroratli oksidlanish/diffuziya: kremniy doping (fosfor, bor diffuziyasi), eshik oksidi o'sishi.

Yupqa qatlamli cho'kma: LPCVD polikristal kremniy, kremniy nitridi (Si₃N₄) cho'kishi.

Yuvish jarayoni: ion implantatsiyasidan keyin tavlanish (RTA), metallni qotishma.

Uchinchi avlod yarimo'tkazgich: kremniy karbid (SiC), galliy nitridi (GaN) epitaksi jarayoni.

1. Materialning xususiyatlari

Ultra yuqori tozalikdagi kvarts (>99.99% SiO₂): metall ionlari (Na +, K +, Fe³ + va boshqalar) bilan ifloslanishini oldini oladi va ilg'or jarayonlar uchun tozalik talablariga javob beradi (<5nm tugunlari).

Yuqori harorat qarshiligi: doimiy ish harorati 1200 ° C, lahzali harorat qarshiligi 1300 ° C, deformatsiya yoki kristallanish xavfi yo'q.

Kimyoviy inertlik: HCl, H₂, O₂, SiH₄ va kislota/ishqoriy muhit kabi texnologik gazlarga chidamli. Uzoq muddatli foydalanishda korroziy emas.

2. Aniq dizayn

Strukturani optimallashtirish:

Slot oralig'ining aniqligi ± 0.05 mm bo'lib, gofretning aniq joylashishini (8/12 dyuym) ta'minlaydi va tirnalgan yoki siljishning oldini oladi.

Termal zarbaga chidamli dizayn, tez ko'tarilish va tushishga moslashadi (isitish tezligi ≤20 ° C / min).

Kam zarracha hosil bo'lishi: zarrachalar biriktirilishini kamaytirish va tushish uchun sirt ultra aniqlik bilan silliqlangan (Ra ≤ 0.2 mkm).

3. Diversifikatsiyalangan konfiguratsiya

Imkoniyatlar ixtiyoriy: 25 dona, 50 dona, 100 dona va boshqa standart spetsifikatsiyalarni qo'llab-quvvatlash, shuningdek, nostandart uyalar raqamini sozlash mumkin.

Turga moslashish: Ochiq qayiq, yopiq qayiq yoki maxsus qayiq turi (masalan, qayiqning pastki qismini burish kanali dizayni).

1-savol: Nostandart o'lcham yoki maxsus dizaynni taqdim eta olasizmi?

A1: Semixlab o'lchamni sozlash, haroratning yuqori chegarasi (materialni yangilash kerak) yoki interfeys turini o'z ichiga olgan maxsus xizmatlarni qo'llab-quvvatlaydi. Maxsus talablar uchun Semixlab texnik jamoasi bilan bog'laning.

2-savol: Yetkazib berish muddati qancha?

A2: Standart mahsulotlarni yetkazib berish muddati 4-6 hafta, maxsus mahsulotlar uchun dizayn va tekshirish muddati esa 2-3 hafta.

3-savol: Sotishdan keyingi texnik yordam ko'rsatasizmi?

A3: Ha, biz umrbod texnik maslahat va favqulodda vaziyatlarga javob berish xizmatlarini taqdim etamiz. O'rnatish yoki foydalanish bilan bog'liq muammolar bo'lsa, qo'llab-quvvatlash jamoasi istalgan vaqtda elektron pochta yoki telefon orqali bog'lanishi mumkin.

4-savol: Mahsulot yarimo'tkazgich sanoati standartlariga javob beradimi?

A4: Ha, ishlab chiqarish jarayoni SEMI standartlariga mos keladi va ISO 9001 sifat menejmenti tizimi tomonidan sertifikatlangan. Har bir partiya zavoddan chiqishdan oldin havo o'tkazmasligi, haroratga chidamliligi va tozaligi uchun sinovdan o'tkaziladi.