CVD SiC bilan qoplangan grafitli dush kallagi

CVD SiC bilan qoplangan grafitli dush boshi yarimo'tkazgichli epitaksiya va ilg'or plastinkalarni qayta ishlashda ishlatiladigan gaz taqsimlash qismidir. U yuqori tozalikdagi grafit yadrosidan boshlanadi, so'ngra zich CVD kremniy karbid qoplamasini oladi. Dush boshining vazifasi oddiy, ammo juda muhim: gazni plastinka yuzasiga teng ravishda yetkazib berish, shu bilan birga yuqori harorat va agressiv kimyoviy moddalar ta'sirida ham.

Reaksiya kamerasining ichida u aniq gaz diffuzeri kabi ishlaydi. Jarayon gazlari ichki kanallar va kichik chiqish teshiklari orqali oqadi, shuning uchun gaz plastinka bo'ylab bir tekis tarqaladi. Bu bir xillik plyonka qalinligining mustahkamligiga, kristall sifatiga va jarayoningizning qanchalik takrorlanishiga bevosita ta'sir qiladi.

Semixlab turli xil ilovalar uchun - SiC epitaksiyasi, GaN epitaksiyasi, MOCVD tizimlari, CVD reaktorlari va boshqa yuqori haroratli cho'ktirish jarayonlari uchun maxsus CVD SiC qoplamali dush boshlarini ishlab chiqaradi.

kalit Xususiyatlar

● Gaz oqimining yaxshi bir xilligi – Teshik naqshlari va ichki kanallar aniq ishlov beriladi, shuning uchun gaz taqsimoti butun jarayon maydoni bo'ylab barqaror va bir tekisda qoladi. Bu plyonka mustahkamligi va plastinka hosildorligini yaxshilashga yordam beradi.

● Yuqori tozalikdagi CVD SiC qoplamasi – Zich SiC qatlami korroziyali jarayon gazlariga yaxshi qarshilik ko'rsatadi, bu esa ishlab chiqarish jarayonida kamroq zarrachalar va kamroq ifloslanish xavfini anglatadi.

● Qattiq issiqlik barqarorligi – Grafit yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligini ta'minlaydi va SiC qoplamasi himoya qo'shadi. Ular birgalikda dush idishining yuqori harorat sharoitida shaklini saqlab turishiga yordam beradi.

● Uzoqroq xizmat muddati – Oddiy grafit qismlarga nisbatan, CVD SiC qoplamali versiyasi ancha aşınmaya bardoshli va kimyoviy jihatdan bardoshli. Siz kamroq texnik xizmat ko'rsatasiz va almashtirish xarajatlarini kamaytirasiz.

● Maxsus muhandislik – Biz oʻlchamlarni, gaz teshiklari naqshlarini, ichki kanallarni, oʻrnatish tuzilmalarini oʻzgartirishimiz mumkin – asosan dush boshini turli reaktor dizaynlariga moslashtirishimiz mumkin.

Ishlab chiqarish imkoniyatlari

Semixlab ko'p ishlarni o'z ichida bajaradi:

● Nozik grafit ishlov berish

● CVD SiC qoplamasini cho'ktirish

● Murakkab gaz kanallarini qayta ishlash

● Qattiq o'lchovli bardoshlik nazorati

● Sirtni pardozlash va tekshirish

● Maxsus dizaynni optimallashtirish

Bizning muhandislik guruhimiz yangi uskunalar dizayni uchun yoki almashtirish qismlari sifatida dush kallaklarini ishlab chiqish uchun mijozlar bilan yaqindan hamkorlik qiladi.

Nima uchun Semixlab ni tanlaysiz?

● Yarimo'tkazgich grafit va SiC bilan qoplangan komponentlar bilan uzoq yillik tajriba

● Yuqori tozalikdagi xom ashyo

● Ichki CVD SiC qoplama texnologiyasi

● Moslashuvchan maxsus ishlab chiqarish

● Qattiq sifat nazorati

● Prototiplar va ishlab chiqarish buyurtmalariga tezkor javob

Biz yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilariga jarayon samaradorligini oshirishga, ifloslanish xavfini kamaytirishga va uzoq muddat davomida ishonchli ishlashga yordam beradigan ishonchli CVD SiC qoplangan grafit komponentlarini taqdim etishga intilamiz.

SiC epitaksiyasi – SiC epitaksial reaktorlarida oldingi gazlarni plastinka bo'ylab teng ravishda tarqatish uchun ishlatiladi, bu qatlam bir xilligini yaxshilashga va nuqsonlarni kamaytirishga yordam beradi.

GaN epitaksiyasi – LEDlar, quvvat elektronikasi va RF qurilmalari uchun MOCVD uskunalari bilan ishlaydi.

Yarimo'tkazgichli CVD jarayonlari – Aniq gaz yetkazib berish va ifloslanishni nazorat qilish muhim bo'lgan cho'ktirish tizimlarida keng tarqalgan.

Murakkab yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning ilg'or usuli - turli xil yuqori haroratli kristall o'sishi va yupqa plyonkali cho'ktirish jarayonlariga mos keladi.

CVD SiC qoplamasining texnik afzalliklari

CVD SiC qoplamasi grafit ustida juda sof, juda zich himoya qatlamini hosil qiladi. Siz grafitning ishlov berish qobiliyati va termal ishlashini, shuningdek, kremniy karbidining kimyoviy qarshiligini olasiz.

Asosiy afzalliklar:

● Zarrachalarning past hosil bo'lishi

● Yuqori korroziyaga chidamlilik

● Yaxshi issiqlik zarbasiga chidamlilik

● Metall ifloslanishining kamayishi

● Barqarorroq jarayon

● Komponentning ishlash muddati uzoqroq

Ushbu afzalliklar CVD SiC bilan qoplangan dush boshlarini ilg'or yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun ishonchli tanlovga aylantiradi, bu yerda jarayonning izchilligi va tozaligi juda muhimdir.