SiC kristalli urug'larni bog'lash uchun vakuumli issiq presslash pechi

Urug' kristallarini bog'lash kristall o'sishiga ta'sir qiluvchi muhim jarayonlardan biridir. Urug' kristallarini bog'lash xususiyatlariga asoslanib, Semixlab urug' kristallarini bog'lash uchun ixtisoslashgan vakuumli issiq presslash uskunasini ishlab chiqdi. Ushbu uskuna bog'lash jarayonida hosil bo'ladigan turli nuqsonlarni samarali ravishda kamaytiradi va shu bilan urug' kristallarini bog'lash hosildorligini va kristallarning yakuniy sifatini yaxshilaydi.

1. Urug' kristallarini bog'lash uchun vakuumli issiq press uskunasiga kirish

1. SiC kristalining o'sishidan oldin urug' kristallarini bog'lash uchun ishlatiladi;

2. Bog'langan urug'lar 2300°C da ajralmasdan yopishishni saqlaydi, yuqori tekislik va toza gofret yuzalari bilan 100% pufakchasiz bog'lanishga erishadi, aralashmalarning adsorbsiyasidan xoli;

3. Isitish patnisi ​​disk tipidagi qarshilikli isitishdan foydalanadi, bu haroratning bir xil taqsimlanishini, xavfsiz ishlashini va foydalanuvchilarga qulay ishlashini ta'minlaydi;

4. Patnis ostiga o'rnatilgan bosim sensorlari ish qismiga qo'llaniladigan bosimni aniq ko'rsatadi.

II. Urug'lik kristalli vakuumli issiq press uskunasining funktsional umumiy ko'rinishi

Semixlab urug' kristalli vakuumli issiq press pechi kremniy karbid urug' kristallarini vakuum yordamida issiq presslash uchun mo'ljallangan.

1. Ikki qavatli suv bilan sovutilgan metall kamera pechning sirt haroratini samarali ravishda pasaytiradi, yuqori harorat xavfini minimallashtiradi va atrof-muhitga ta'sirini kamaytiradi;

2. Avtomatik bosimni qo'llash va ushlab turish, bosqichma-bosqich yuklash va avtomatlashtirilgan boshqaruv bilan siljitish imkoniyatiga ega;

3. Turli xil vakuum tizimi konfiguratsiyalari jarayon talablariga asoslangan holda turli xil vakuum darajalarini tanlash imkonini beradi;

4. Bosimning bir tekis taqsimlanishi va yuqori haroratni nazorat qilish aniqligi;

5. Bosim qo'llanilishi aniq va barqaror bosim yetkazib berish uchun aniq mexanik tortish mexanizmlaridan foydalanadi, bu esa xavfsiz ishlash va atrof-muhitga moslikni ta'minlaydi;

6. Yuqori press kallagi va itarish novdasi orasidagi universal qo'shma ulanish presslash paytida yuqori kalla va pastki patnis o'rtasida moslashuvchan parallellikni kafolatlaydi, bu esa bosimning bir xil taqsimlanishini ta'minlaydi;

7. Yuqori press kallagi zarbasiz silliq, yumshoq kuch yetkazib berish uchun yumshatuvchi bosim qo'llanilishini o'z ichiga oladi, bu esa ish qismining sinishining oldini oladi;

8. Harorat sensorlari haroratni boshqarish moslamasi bilan issiqlik uzatish plitasi interfeysiga o'rnatilgan bo'lib, aniq isitish harorati va dasturiy boshqaruvni ta'minlaydi;

9. Issiqlik yo'qotilishini minimallashtirish uchun pallet ham, yuqori press kallagi ham izolyatsiya moslamalari bilan jihozlangan.

3. Semixlab urug' kristalli vakuumli issiq presslash uskunasining ishlashi va xususiyatlari

1. Nasos tezligini nazorat qilish bilan bosqichma-bosqich vakuumli ekstraksiya;

2. Keng ko'lamli yangilanish salohiyati uchun katta kamera;

3. Avtomatlashtirilgan ishlaydigan barqaror press kallagi;

4. Avtomatik bosim qiyaligi va retsept bo'yicha tartibga solish bilan bosimni ko'tarish va tushirishni boshqarish;

5. Dasturlashtiriladigan harorat va bosim sikllari bilan aniq haroratni boshqarish;

6. Turli bog'lash jarayonlari uchun sozlanishi mumkin bo'lgan vakuum, bosim va harorat parametrlari;

7. Nol pufakchalar bilan zich bog'lanish;

8. Juda past sinish darajasi — deyarli qurilma tomonidan qo'zg'atilgan sinishlar yo'q;

9. Moslik: 6-12 dyuymli gofretlarni qo'llab-quvvatlaydi;

10. Maksimal pastga yo'naltirilgan bosim: 1.6 T;

11. Eng yuqori vakuum: 5 Pa (sovuq);

12. Isitish platformasi haroratining bir xilligi: <±3℃, σ <4 (200℃ da);

13. Bosim tebranishi: <0.5%.

Urug'larni bog'lash uchun issiq presslash pechining parametrlari