EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
G'ovakli keramik vakuumli shtutser
Tez tafsilot:
1. Boshqa nomlar: Gözenekli keramika vakuumli chuck, gözenekli SiC chuck, gözenekli chuck.
2. Ilova: Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish, gofretni kesish, nozik ishlov berish, yuqori haroratli epitaksiya, o'yma, ion implantatsiyasi va boshqa stsenariylarga mos keladigan gofret va ingotlarni aniq adsorbsiyalash va mahkamlash uchun mo'ljallangan yuqori samarali vakuumli adsorbsion qurilma.
3. Asosiy parametrlar:
Porozligi sozlanishi (10-200 mkm).
Ultra yuqori harorat (≤1600 °C), mukammal termal zarba qarshiligi.
Adsorbsion vakuum: standart -90kPa (100kPa ga moslashtirilishi mumkin).
So'rg'ichning o'lchami: 4/6/8/12 dyuymli gofretlarni qo'llab-quvvatlang, ingot o'lchamini sozlash mumkin.
Tavsif
Seramika vakuumli chuck - gofret va ingotlarni aniq adsorbsiyalash va mahkamlash uchun mo'ljallangan yuqori samarali vakuumli adsorbsion qurilma. U bir xil adsorbsion kuch taqsimotiga va yuqori barqarorlikka erishish uchun havo kanallari va gözeneklerin moslashtirilgan dizayni bilan birlashtirilgan gözenekli keramika + metall tashqi halqaning kompozit tuzilishini qabul qiladi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish, gofretni kesish, nozik ishlov berish va boshqa stsenariylar uchun javob beradi, yuqori haroratni, yuqori tezlikda harakatlanish muhitini qo'llab-quvvatlaydi, har xil o'lchamdagi gofret / ingotning muvofiqlik talablariga javob berishi mumkin.
Moslashtirilgan xizmat
Hajmi va yukini sozlash
Stomata va havo yo'llarini optimallashtirish
Atrof-muhitga maxsus moslashish
Dizayn namunasi
ilovalar
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish
Epitaksial o'sish: SiC gofretlarining yuqori haroratlarda barqaror adsorbsiyasi, burish va ifloslanishni oldini olish uchun.
Litografiya va etching: Grafik hizalanishning aniqligini ta'minlash uchun yuqori tezlikda harakatlanuvchi platformada aniq joylashishni aniqlash (tezlashtirish ≤10G).
Quymalarni qayta ishlash
Kesish va silliqlash: tebranish natijasida yuzaga keladigan chekka yorilishlarni bostirish uchun og'ir kristall ingotning (masalan, safir, kremniy karbid ingoti) adsorbsiyasi.
Ilmiy tadqiqot va maxsus texnologiya
Yuqori haroratli tavlanish: gözenekli kremniy karbidli so'rg'ichlar uzoq vaqt davomida 1600 ° C da, deformatsiyasiz va havoni ifloslantirmasdan ishlaydi.
Vakuumli qoplama: PVD / CVD bo'shlig'i muhitiga mos keladigan yuqori havo o'tkazmaydigan dizayn.
raqobat afzalligi
Asosiy tuzilish va materialning afzalliklari
1.Ko'p qatlamli kompozit dizayn
Yuzaki qatlam: gözenekli keramika (ixtiyoriy gözenekli kremniy karbid yoki gözenekli grafit), mahalliy stress kontsentratsiyasini oldini olish uchun adsorbsion kuchning gofret yuzasiga bir xilda o'tkazilishini ta'minlash uchun diafragma sozlanishi (10-200 mkm).
Matritsa: Strukturaviy qo'llab-quvvatlash va havo o'tkazmasligini ta'minlash uchun yuqori qattiq metall ramka (zanglamaydigan po'lat yoki alyuminiy qotishmasi).
Havo yo'llari va teshiklar: Aniq ishlov berilgan havo yo'llarining ichki tarmog'i va teng taqsimlangan mikroporlar tez vakuumli ekstraktsiyani (-90kPa gacha adsorbsiya kuchi) va bir zumda chiqarishni qo'llab-quvvatlaydi.
2. Materiallar xossalarini solishtirish
| ashyo | Gözenekli kremniy karbid | Gözenekli grafit |
| Harorat qarshiligi | Ultra yuqori harorat (≤1600 °C), mukammal termal zarba qarshiligi | O'rtacha yuqori harorat (≤800 ° C), yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi |
| Kimyoviy chidamlilik | Kislota va gidroksidi korroziyaga chidamliligi, plazma korroziyaga chidamliligi | Oksidlovchi bo'lmagan gazlarga chidamli, arzonroq narx |
| Qo'llaniladigan sahna | Yuqori haroratli epitaksiya, etching, ion implantatsiyasi | Gofretni kesish, maydalash, qadoqlash |
3. Asosiy ishlash va texnik parametrlar
| Tavsif | fikr bildirmoq |
| Chuck hajmi | 4/6/8/12 dyuymli gofretlarni qo'llab-quvvatlang, ingot o'lchamini sozlash mumkin |
| Loading | Yagona plastinka maksimal yuki 50kg (balandligi ≤300mm) |
| ish harorati | Gözenekli kremniy karbid: -50 ° C ~ 1600 ° C; Gözenekli grafit: -50 ° C ~ 800 ° C |
| Adsorbsion vakuum | Standart -90kPa (-100kPa ga moslashtirilgan) |
FAQ
Savol: Gözenekli kremniy karbid va gözenekli grafit chuckni qanday tanlash mumkin? Yuqori haroratli jarayonlarda gözenekli kremniy karbid va g'ovakli grafit chuck o'rtasidagi asosiy farqlar qanday? Qo'llash stsenariysi uchun to'g'ri materialni qanday tanlash mumkin?
A: G'ovakli kremniy karbid chuck:
Haroratga chidamlilik: ≤1600 °C haddan tashqari yuqori haroratlarda barqaror ishlashi mumkin (masalan, SiC epitaksisi, yuqori haroratli tavlanish), mukammal termal zarba qarshiligi, keskin harorat o'zgarishlari uchun mos keladi.
Korroziyaga chidamlilik: kuchli kislota, gidroksidi va plazma eroziyasiga qarshilik ko'rsatish, o'rnatish, ion implantatsiyasi va boshqa korroziy gaz jarayonlari uchun mos.
G'ovakli grafit Chak:
Issiqlik o'tkazuvchanligi: Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (200-400 Vt / m · K), tez issiqlik uzatishni talab qiladigan stsenariylarga mos keladi (masalan, gofretni kesish issiqlik tarqalishi).
Iqtisodiyot: arzon narxlardagi, ≤800 °C o'rta haroratli muhitga mos keladi (qadoqlash, silliqlash kabi).
Tanlov takliflari:
Jarayonning harorati > 800 ° C bo'lsa yoki korroziyaga chidamlilik zarur bo'lsa, gözenekli silikon karbidga afzallik beriladi; Agar tejamkor va past jarayon haroratiga intilish bo'lsa, gözenekli grafitni tanlash mumkin.
