Yarimo'tkazgichli kvarts oqimi to'xtatuvchisi

Ⅰ. Materiallar va sirt xususiyatlari

● Material: Yuqori toza eritilgan silika (sintetik yoki tabiiy kvarts, tozaligi ≥99.99%).

● Termal qarshilik: 1200 ° S gacha bo'lgan doimiy haroratlarda barqaror ishlash.

● Yuzaki pardozlash: zarrachalarning yopishishini oldini olish uchun ultra silliq nozik jilolangan yuzalar.

● Termal kengayish: Kengayishning past koeffitsienti (5.5×10⁻⁷/°C) o'lchov barqarorligini ta'minlaydi.

● Kimyoviy qarshilik: HCl, NH₃ va SiH₄ kabi korroziy gazlarga nisbatan inert.

Har bir oqim to'xtatuvchisi sirt sifati, o'lchov aniqligi va ichki qabariq nazorati uchun qattiq tekshiruvdan o'tadi, bu har bir ishlab chiqarish partiyasida izchil tozalik va ishonchlilikni ta'minlaydi.

Ⅱ. Yarimo'tkazgich jarayonlaridagi asosiy funktsiyalar

Kvarts Flow Baffle yuqori haroratli yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash kameralarida asosiy oqim nazorati va termal tartibga solish komponenti sifatida xizmat qiladi. Uning vazifasi gazlarni oddiygina yo‘naltirishdan tashqarida ham bor – u jarayon muhitini barqarorlashtirish, materiallardan foydalanishni oshirish va gofretdan gofretning bir xilligini ta’minlashda ko‘p funksiyali rol o‘ynaydi.

1. Gaz oqimining yagona taqsimoti

LPCVD, PECVD va epitaksiya kabi jarayonlarda bir xil gaz etkazib berish izchil yupqa qatlam o'sishi va dopant taqsimotiga erishish uchun juda muhimdir. Kvars oqimi to'sig'ining sinchkovlik bilan ishlab chiqilgan geometriyasi, jumladan, uning burchakli oqim kanallari, egri chizig'i va optimallashtirilgan oraliqlari - reaktiv gazlarning gofret yuzasi bo'ylab teng ravishda tarqalishini ta'minlaydi. Laminar oqim sxemasini saqlab, oqim to'sig'i partiyadagi har bir gofret bir xil gaz ta'sir qilish sharoitlarini boshdan kechirishini ta'minlaydi va shu bilan hosil barqarorligi va qurilma mustahkamligini oshiradi.

2. Issiqlik maydonini barqarorlashtirish va issiqlik uzatish balansi

Termal oksidlanish yoki Si epitaksial o'sishi kabi yuqori haroratli jarayonlarda harorat taqsimotidagi kichik o'zgarishlar ham kristall nuqsonlari, dislokatsiyalar yoki plyonka stressiga olib kelishi mumkin.

Kvars oqimi to'siqlari termal moderator sifatida ishlaydi:

● Gofretli qayiq markazi va chetlari orasidagi harorat gradientlarini tekislaydi

● Pech ichidagi radiatsion issiqlik muvozanatini kamaytiradi

● Haroratni oshirish va pasayish davrlarida termal zarbalarni kamaytiradi

3. Kontaminatsiyani bostirish va jarayonning tozaligi

Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ifloslanishni nazorat qilish muhim ahamiyatga ega. Metall yoki zarrachalar bilan ifloslanish qurilmaning unumdorligini sezilarli darajada yomonlashtirishi mumkin. Ultra yuqori toza sintetik eritilgan kremniy dioksididan (SiO₂ ≥ 99.99%) tayyorlangan Kvars Flow Baffle texnologik kameraga hech qanday metall ionlari yoki uglerod qoldiqlarini kiritmaydi. Uning silliq, g'ovak bo'lmagan yuzasi reaktsiya qo'shimcha mahsulotlarning to'planishi va zarrachalarning to'kilishini oldini oladi. Bu eshik oksidi hosil bo'lishi, diffuziya dopingi va CVD dielektrik cho'kishi kabi muhim jarayonlar uchun toza xona darajasidagi barqarorlikni ta'minlaydi.

Semixlab Quartz Flow Baffle shunchaki passiv komponent emas, balki jarayon barqarorligi, gazning bir xilligi va rentabellikni optimallashtirishning muhim omili hisoblanadi. Oqim dinamikasining ilg'or dizayni, issiqlik muvozanati va o'ta toza material tarkibi orqali u har bir gofret keyingi avlod yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan aniq boshqariladigan jarayon muhitini olishini ta'minlaydi.