Layner Kvarts Yuqori Gaz Distribyutori

Mahsulotning umumiy ko'rinishi

AMAT 0200-09445 Liner Qtz Upper Gas Dist yarimo'tkazgichli ishlov berish kameralarining yuqori qismiga, odatda o'yib ishlov berish yoki kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) jarayonlari uchun ishlatiladigan tizimlarga o'rnatiladi.

Asosiy mahsulot haqida ma'lumot

Ushbu komponent kengroq gaz taqsimlash va kamerali layner tizimining bir qismi bo'lib, izchil jarayon sharoitlarini ta'minlash uchun pastki laynerlar va gaz taqsimlash plitalari bilan birgalikda ishlaydi.

0200-09445 oddiy kvarts halqasi yoki astar emas - bu jarayon kamerasida ikkita muhim rolni birlashtirgan gibrid funktsional komponent:

Kvarts astar (kamerani himoya qilish qatlami)

Astar sifatida u plazma muhiti va kameraning metall yuzalari o'rtasida himoya to'sig'i vazifasini bajaradi. U cho'kmalarni yutadi, ifloslanishning oldini oladi va kameraning xizmat muddatini uzaytiradi.

Yuqori gaz taqsimlash komponenti

Shu bilan birga, u yuqori kamerali hududdagi gaz oqimini qo'llab-quvvatlash va boshqarish uchun mo'ljallangan. Gaz plitalari yoki dush kallaklari bilan birgalikda ishlaydigan bu qurilma gazlarni plastinka bo'ylab teng ravishda taqsimlashga yordam beradi.

Materiallar va asosiy xususiyatlar

AMAT 0200-09445 layneri yarimo'tkazgichli eritilgan kvartsdan (SiO₂) ishlab chiqariladi, bu material o'zining ajoyib ishlashi tufayli plazma ta'siriga uchragan komponentlar uchun keng qo'llaniladi.

Materialning asosiy xususiyatlari

Ultra yuqori poklik: Amaldagi kvarts tarkibida juda past darajadagi metall aralashmalar mavjud bo'lib, ifloslanish xavfini kamaytiradi va ilg'or yarimo'tkazgich ishlab chiqarish standartlarini qo'llab-quvvatlaydi.

Ajoyib plazma qarshiligi: Eritilgan kvarts ion bombardimoniga va reaktiv plazma muhitiga bardosh beradi, bu esa uni o'yib ishlov berish va yurak-qon tomir jarayonlarida uzoq muddatli foydalanish uchun mos qiladi.

Yuqori issiqlik barqarorligi: Material yuqori harorat va issiqlik aylanishi sharoitida strukturaviy yaxlitlikni saqlab qoladi, vaqt o'tishi bilan izchil ishlashni ta'minlaydi.

Kimyoviy inertlik: Kvarts yarimo'tkazgich jarayonlarida keng qo'llaniladigan ftor va xlor asosidagi kimyoviy moddalar kabi reaktiv gazlarning korroziyasiga chidamli.

Elektr izolyatsiyasi: O'tkazmaydigan material sifatida kvarts barqaror elektr maydonlarini saqlashga yordam beradi va plazmaning bir tekis taqsimlanishiga hissa qo'shadi.

Bu xususiyatlar kvartsni gaz oqimini boshqarish va plazma ta'sirini birlashtirgan komponentlar uchun ideal materialga aylantiradi.

Yarimo'tkazgich uskunalari ichidagi funksiya

0200-09445 Kvarts Yuqori Gaz Taqsimlash Lineri yarimo'tkazgichli jarayon kameralari ichida bir nechta muhim rol o'ynaydi, bu jarayon sifati va uskunaning ishonchliligiga bevosita ta'sir qiladi.

Gaz taqsimlashni optimallashtirish

Ushbu komponent jarayon gazlarini kamera bo'ylab yo'naltirish va taqsimlashga yordam beradi va quyidagilarni ta'minlaydi:

● Gaz oqimining bir tekisligi

● Reaktivlarning izchil taqsimlanishi

● Barqaror ishlov berish sharoitlari

Bu plastinka yuzasida bir xil aşındırma tezligiga yoki plyonka cho'kishiga erishish uchun juda muhimdir.

Palata himoyasi

Qurbonlik qoplamasi sifatida u kamera devorlari va strukturaviy komponentlarini quyidagilardan himoya qiladi:

● Plazma ta'siriga

● Kimyoviy reaksiyalar

● Cho'kma hosil bo'lishi

Bu texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytiradi va qimmat kamerali apparatlarning ishlash muddatini uzaytiradi.

Plazma barqarorligini oshirish

Yuqori kamerada barqaror dielektrik sirtni ta'minlash orqali kvarts layneri quyidagilarga yordam beradi:

● Plazma chegaralarini izchil saqlang

● Elektr toki uzilishini kamaytirish

● Jarayonning takrorlanishini yaxshilash

Kontaminatsiya va zarrachalarni nazorat qilish

Layner jarayonning qo'shimcha mahsulotlarini ushlaydi va zarrachalar hosil bo'lishini minimallashtiradi, bu esa quyidagilarga yordam beradi:

● Kamera tozaligini saqlang

● Nuqsonlar darajasini pasaytirish

● Gofret hosildorligini oshirish