Uglerodli uglerodli kompozit tigel

Name: Uglerodli uglerodli kompozit tigel
Brand: Semixlab
Price: 60.0 USD
Availability: InStock
Rating: 5 (19 reviews)

Semixlab kompaniyasining uglerodli uglerodli kompozit tigel (C/C Crucible) yarimo'tkazgich kristallarining o'sishi va epitaksial ishlov berishda eng talabchan muhitlar uchun ishlab chiqilgan. Semixlab kompaniyasining Karbonli Karbonli Kompozit Crucible yuqori modulli uglerod tolalari va yuqori toza uglerod matritsalari yordamida ishlab chiqilgan bo'lib, CZ kremniy o'sishi, kremniy epitaksisi va SiC PVT sublimatsiya o'sishi uchun moslashtirilgan ishlash profiliga erishadi. Quyma bir xilligini oshiruvchi kremniy gofret ishlab chiqaruvchilari, cho'kishning bir xilligini optimallashtiradigan epitaksiya ishlab chiqaruvchilari yoki kattaroq diametrli boullarga o'lchaydigan SiC ishlab chiqaruvchilari uchun uglerodli uglerodli kompozit tigel zamonaviy yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun mustahkam, past ifloslanish asosini ta'minlaydi.

MA'LUMOT

Tavsif

Silikon kristall o'sishida (Czochralski jarayoni) C / C tigel asosan eritilgan kremniyli ichki tigelni o'rab turgan strukturaviy tayanch va termal stabilizatsiya elementi sifatida ishlatiladi. Uning past termal kengayishi, yuqori mexanik mustahkamligi va mukammal termal zarba qarshiligi uzoq tortishish davrlarida tigel geometriyasini saqlab qolishga yordam beradi, kvarts deformatsiyasini kamaytiradi va bir xil harorat gradyanlarini ta'minlaydi. Bu to'g'ridan-to'g'ri dislokatsiyani nazorat qilishni yaxshilashga, kvarts tigelning foydalanish muddatini uzaytirishga va hosil bo'lgan monokristalli kremniy ingotining bir xilligini oshirishga yordam beradi.

Silikon va SiC epitaksi tizimlarida Karbon Karbonli Kompozit Crucible barqaror yuqori haroratli tashuvchi va termal boshqaruv komponenti bo'lib xizmat qiladi, susseptorlar va gofretni ushlab turadigan tuzilmalarni qo'llab-quvvatlaydi. Kompozitning vodorod, xlorlangan yoki yuqori vakuumli muhitda qattiqlik va kimyoviy inertlikni saqlab qolish qobiliyati ifloslanishni minimallashtirish va taxmin qilinadigan issiqlik ko'rsatkichlariga erishish uchun juda muhimdir. Natijada epitaksial qatlam qalinligi, qurilmaning yuqori sifati va reaktorning ishlash muddati yaxshilanadi.

Jismoniy bug 'tashuvchisi (PVT) yordamida SiC monokristalining o'sishi uchun C/C tigel sublimatsiya kamerasining asosiy komponentiga aylanadi. Inert atmosferada 2200 ° C dan yuqori bo'lgan uglerod-uglerodli kompozitlarning ajoyib yuqori harorat qobiliyati tigelga uzoq muddatli sublimatsiya davrlariga bardosh berishga imkon beradi, shu bilan birga SiC boullarida nuqsonlarni kamaytirish uchun muhim bo'lgan barqaror termal maydonni saqlaydi. Uning past nopoklik tarkibi va minimal zarracha hosil bo'lishi beixtiyor doping va mikroquvurlarning tarqalishi xavfini kamaytiradi, ilg'or quvvat elektronikasida qo'llaniladigan yuqori sifatli 4H va 6H SiC kristallarini ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlaydi.

Keyingi avlod yarimo'tkazgich materiallari uchun mo'ljallangan Semixlab C/C tigel ko'plab ishlab chiqarish platformalarida yuqori mahsuldorlik, asbobning uzoq umr ko'rish muddati va yuqori kristal sifatini ta'minlaydi. Semixlab kompaniyasining Karbonli Karbonli Kompozit Crucible qattiq jarayon nazorati, jumladan, yuqori tozalikdagi prekursorlarni tanlash, ko'p bosqichli zichlashtirish va xususiy sirt ishlov berish bilan ishlab chiqariladi. Natijada, standart grafit muqobillari bilan solishtirganda, mukammal o'lchamli barqarorlik, yaxshilangan oksidlanish qarshiligi va zarrachalar chiqishi sezilarli darajada kamaygan tigel hosil bo'ladi. Har bir mahsulot sanoat CZ tortgichlari, vertikal/gorizontal epitaksiya reaktorlari va SiC PVT pechlarida barqaror ishlashni ta'minlash uchun nozik tekshiruv va termal-mexanik tekshiruvdan o'tadi.