Uch bargli grafitli mix

Semixlabning uch bargli grafitli tig'i maxsus Czochralski (CZ) monokristalli kremniy o'stirish tizimlari uchun mo'ljallangan. Uning yuqori issiqlik barqarorligi, strukturaviy yaxlitligi va materialning sofligi kristall sifati va ishlab chiqarish rentabelligiga bevosita ta'sir qiladi.

CZ jarayonida polikristalli kremniy 1420°C dan yuqori haroratlarda kvarts tigelida eriydi, atrofdagi grafit tigel va issiq zona komponentlari esa mexanik qo'llab-quvvatlashni ta'minlaydi va issiqlik muhitini belgilaydi. Grafit strukturasining barqarorligi juda muhim: u radial va eksenel harorat gradiyentlarini boshqaradi, eritma konveksiyasining xatti-harakatlariga ta'sir qiladi va oxir-oqibat kristall o'sishi paytida qattiq-suyuqlik interfeysining shaklini belgilaydi. Hatto kichik strukturaviy buzilishlar yoki stress keltirib chiqaradigan deformatsiyalar ham kristall diametrining o'zgarishiga, kislorod kontsentratsiyasining o'zgarishiga va nuqson zichligining oshishiga olib kelishi mumkin.

Uch bargli grafitli tigel segmentlangan strukturadan foydalanadi, tigel korpusini uchta aniq ishlov berilgan qismga ajratadi. Ushbu dizayn uzoq muddatli yuqori haroratli ish va takroriy termal sikl paytida hosil bo'ladigan aylana bo'ylab issiqlik kuchlanishini kamaytirishga qaratilgan. Butun halqali struktura bo'ylab kuchlanish to'plashi mumkin bo'lgan an'anaviy monolit grafitli tigellardan farqli o'laroq, uch qismli struktura ma'lum interfeyslarda boshqariladigan kengayish va kuchlanishni qayta taqsimlash imkonini beradi. Natijada o'lchovli barqarorlik yaxshilanadi, yorilish xavfi kamayadi va CZ pech muhitida uzoq muddatli ishonchlilik oshadi.

Issiqlik muhandisligi nuqtai nazaridan, eritma oqimi naqshlarini va kristall o'sish interfeyslarining egriligini nazorat qilish uchun barqaror va simmetrik harorat maydonini saqlash juda muhimdir. Uch bargli grafitli tigel deformatsiyani minimallashtirish va o'sish sikli davomida geometrik izchillikni saqlab qolish orqali radial issiqlik muvozanatini yaxshilaydi. Bu kristallning barqaror tortish sharoitlariga, aniqroq diametrni boshqarishga va kvarts tigelidan kremniy eritmasiga kislorodning bir tekis kirib borishiga yordam beradi. Bu issiqlik barqarorligi, odatda murakkabroq harorat gradiyentlariga va sezilarli darajada yuqori mexanik yuklarga ega bo'lgan katta diametrli quymalarni ishlab chiqarishda ayniqsa muhimdir.

Materialning sofligi va strukturaviy zichligi yarimo'tkazgichli grafit komponentlari uchun bir xil darajada muhimdir. Uch bargli grafitli tigel kristall o'sish bo'shlig'ida metall ifloslanishi xavfini kamaytirish uchun qat'iy nazorat qilinadigan aralashmalar miqdoriga ega yuqori zichlikdagi, mayda donador izostatik presslangan grafitdan foydalanib ishlab chiqariladi. Ilg'or ishlov berish texnikasi qattiq o'lchovli bardoshlik va segmentlar orasidagi aniq moslikni ta'minlaydi, mexanik hizalanishni saqlaydi va interfeyslarda issiqlik oqishini minimallashtiradi. Muayyan jarayon muhiti talablariga qarab, Semixlab oksidlanishga chidamliligini oshirish va xizmat muddatini uzaytirish uchun sirt himoya qoplamalarini (SiC qoplamasi, TAC qoplamasi, Pirolitik uglerod qoplamasi) ham birlashtirishi mumkin.

Semixlabning uch bargli grafitli krujkasi zamonaviy CZ monokristalli kremniy ishlab chiqarish uchun ishonchli mahsulot texnologiyasini qo'llab-quvvatlaydi. Shu bilan birga, Semixlab yarimo'tkazgichli kristall o'sish jarayonlari uchun yetakchi texnologiyalar va moslashtirilgan mahsulot yechimlarini taqdim etishga sodiqdir. Biz Xitoyda sizning uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishni chin dildan kutamiz.