SiC bilan qoplangan izostatik grafit tigel

Semixlab tomonidan taqdim etilgan SiC qoplamali izostatik grafit tigel o'zining bir xil zichligi, nozik don tuzilishi va ekstremal sharoitlarda ajoyib mexanik kuchi bilan mashhur bo'lgan yuqori darajadagi izostatik grafitdan ishlab chiqarilgan. Grafit yuzasiga yuqori tozalikdagi Kimyoviy bug 'cho'kmasi (CVD) silikon karbid (SiC) qoplami qo'llaniladi, bu oksidlanish qarshiligini, termal barqarorlikni va kimyoviy inertlikni sezilarli darajada oshiradigan zich va himoya qatlamini yaratadi. Ushbu ilg'or materiallar kombinatsiyasi yuqori issiqlik o'tkazuvchanligini, minimal ifloslanishni, uzaytirilgan xizmat muddatini va ultra yuqori haroratli yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash muhitida barqaror ishlashni ta'minlaydi.

Materialning tarkibi va xususiyatlari

Bizning tigelimiz ikkita asosiy materialdan tayyorlangan:

· Izostatik grafit substrat: Ushbu asosiy material izostatik presslash jarayoni orqali ishlab chiqariladi, bu ajoyib mexanik kuch va termal barqarorlikka ega bir xil, yuqori zichlikli strukturani ta'minlaydi. Bu izotropik tabiat uning xususiyatlari barcha yo'nalishlarda izchil bo'lishini anglatadi, hatto haddan tashqari termal aylanish sharoitida ham burish va yorilishni oldini oladi. Biz foydalanadigan yuqori toza grafit ifloslanishlarni kamaytiradi, bu nozik yarimo'tkazgich jarayonlarida ifloslanishning oldini olish uchun zarurdir.

· Silikon karbid (SiC) qoplamasi: Ilg'or Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) usuli yordamida qo'llaniladigan SiC qatlami zich, gözenekli bo'lmagan himoya to'sig'ini yaratadi.

Yarimo'tkazgich jarayonlaridagi funksional roli

1. SiC kristalining o'sishi (PVT usuli)

SiC kristalining o'sishi uchun jismoniy bug' tashish (PVT) usulida tigel yuqori sifatli kristall ishlab chiqarishga erishishda hal qiluvchi rol o'ynaydi. SiC bilan qoplangan sirt grafit substrati va xom SiC manba moddasi o'rtasidagi kiruvchi reaktsiyalarning oldini oluvchi kimyoviy jihatdan barqaror saqlash muhitini ta'minlaydi. Bu uglerod ifloslanishini kamaytiradi va kristall panjaraning bir xilligini oshiradi. Tigelning yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi barqaror issiqlik taqsimotini ta'minlaydi, bu harorat gradientlarini nazorat qilish va SiC bulalarida dislokatsiya zichligini kamaytirish uchun juda muhimdir. Natijada, tigel to'g'ridan-to'g'ri quyi oqimdagi yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish uchun kristalli hosildorlikni va gofret sifatini yaxshilashga yordam beradi.

2. Silikonning yagona kristalli o'sishi

Kremniyning yagona kristalli o'sishi jarayonlarida (masalan, Chochralski usuli) tigel kimyoviy inertlikni saqlab, juda yuqori haroratlarda uzoq vaqt ta'sir qilishiga bardosh berishi kerak. SiC qoplamasi oksidlanish va nopoklik tarqalishiga qarshi himoya to'siq bo'lib xizmat qiladi, hech qanday ifloslanish eritilgan kremniyga o'tmasligini ta'minlaydi. Bu ilg'or IC, quvvat qurilmalari va fotovoltaik hujayralarni ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan kamroq strukturaviy nuqsonlarga ega bo'lgan juda sof kremniy kristallariga olib keladi. Bundan tashqari, qoplama tigelning ishlash muddatini uzaytiradi, almashtirish chastotasini va umumiy ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytiradi.

3. Yuqori haroratli termik ishlov berish va diffuziya jarayonlari

Termik ishlov berish, yumshatish va diffuziya jarayonlarida yarimo'tkazgichli gofretlar tozalik va barqarorlik muhim bo'lgan yuqori haroratga duchor bo'ladi. SiC bilan qoplangan tigel sublimatsiya va gaz chiqarishga qarshi mukammal qarshilik ko'rsatadi va gofret yuzalarini buzishi mumkin bo'lgan zarrachalar paydo bo'lishining oldini oladi. Uning termal barqarorligi bir xil isitish sharoitlarini ta'minlaydi, bu aniq qo'shimcha moddalar tarqalishini va gofretning barqaror ishlashini qo'llab-quvvatlaydi. Toza ishlov berish muhitini saqlash va materialning degradatsiyasini minimallashtirish orqali tigel ishlab chiqaruvchilarga keng ko'lamli ishlab chiqarishda ishonchli, nuqsonsiz gofretlarga erishishga yordam beradi.

Semixlab afzalliklari

Semixlab aniq muhandislik va qat'iy sifat kafolatini birlashtirgan holda ishonchli yetkazib beruvchi sifatida ajralib turadi. Har bir SiC qoplamali grafit tigel qoplamaning yopishishini, qalinligi bir xilligini va termal tsikl ostida ishlashni ta'minlash uchun qattiq zavod sinovidan o'tadi. Kompaniya maxsus texnologik talablarni qondirish uchun tigel o'lchamlarini, qoplama qalinligini va sirt xususiyatlarini moslashtirgan moslashtirilgan echimlarni taqdim etadi.

Ishlab chiqarishdan tashqari, Semixlab yarimo'tkazgich muhandislari va xarid qilish guruhlariga ularning texnologik sharoitlari uchun eng mos keladigan tigel dizaynini tanlashda yordam beradigan texnik maslahat va ilovalarni qo'llab-quvvatlaydi. Sifat va moslashtirishga bo'lgan qat'iy sodiqligi bilan Semixlab ilg'or yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun ishonchli ta'minot va uzoq muddatli ishlashni ta'minlaydi.