EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
TaC bilan qoplangan grafit halqasi
Semixlab kompaniyasining TaC qoplangan grafit halqalari yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda ekstremal ishlash uchun mo'ljallangan. Bizning yuqori toza tantal karbid (TaC) CVD qoplama halqalarimiz CVD, PVD va plazma bilan ishlov berish jarayonlari uchun ajralmas bo'lib, ular hidoyat halqalari, fokusli halqalar va astar halqalari bo'lib xizmat qiladi. Bizning bardoshli va ishonchli komponentlarimiz bilan zarrachalar ifloslanishini kamaytiring va gofret hosildorligini oshiring.
Tavsif
Semixlab TaC qoplangan grafit halqasi asosan yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlatiladigan muhim komponent hisoblanadi. U tantal karbid (TaC) qatlami bilan ehtiyotkorlik bilan qoplangan yuqori toza grafit substratdan iborat. Ushbu ilg'or qoplama grafitni qattiq kimyoviy muhit va yuqori harorat sharoitlaridan himoya qiladigan yuqori sirtni ta'minlaydi.
Bizning TaC bilan qoplangan grafit uzuklarimiz kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD), jismoniy bug'ni cho'ktirish (PVD) va plazma bilan ishlov berish kabi jarayonlarda muhim rol o'ynaydi. Ular oxirgi yarimo'tkazgichli gofretning yaxlitligi va sifatini ta'minlovchi himoya to'sig'i, hidoyat halqasi yoki reaktsiya kamerasining asosiy tarkibiy qismi bo'lib xizmat qiladi.
Texnik xususiyatlari
| Tantal karbid (TaC) qoplamasining fizik xususiyatlari | |
| zichlik | 14.3 (g/sm³) |
| Maxsus emissiya | 0.3 |
| Issiqlik kengayish koeffitsienti | 6.3*10-6/K |
| Qattiqlik (HK) | 2000 HK |
| qarshilik | 1 × 10-5 Om*sm |
| Issiqlik barqarorligi | <2500 ℃ |
| Grafit hajmi o'zgaradi | -10~-20um |
| Qoplamaning qalinligi | ≥20um tipik qiymat (35um±10um) |
ilovalar
Yarimo'tkazgich jarayonlarida qo'llanilishi
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun TaC qoplangan grafit halqalarimizning mustahkam xususiyatlari ularni bir nechta asosiy ilovalarda ajralmas qiladi.
1. Kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD)
CVD jarayonlarida, gazlar gofretlarga yupqa plyonkalarni joylashtirish uchun yuqori haroratlarda reaksiyaga kirishadi, reaksiya kamerasi juda agressiv muhitdir. Bizning CVD TaC qoplangan halqalarimiz susseptor halqalari, hidoyat halqalari va astar halqalari sifatida ishlatiladi. Ular korroziy gazlar va kimyoviy hujumlardan ajoyib himoya qiladi, zarrachalar ifloslanishini oldini oladi va gofret bo'ylab bir xil plyonka qalinligini ta'minlaydi. TaC ning yuqori termal barqarorligi hatto haddan tashqari haroratlarda ham barqaror ishlashga imkon beradi.
2. Jismoniy bug'ning cho'kishi (PVD)
PVD püskürtme va elektron nurni bug'lash uchun bizning halqalarimiz vakuum kamerasida muhim komponentlar bo'lib xizmat qiladi. Ular boshqa nozik qismlarni parchalanish va plazma bombardimonidan himoya qiluvchi himoya halqalari yoki hidoyat halqalari vazifasini bajaradi. TaC qoplamasining g'ayrioddiy qattiqligi va zichligi uni zarrachalar eroziyasiga yuqori darajada chidamli qiladi, bu komponentlarning buzilishi va keyingi gofret nuqsonlari xavfini keskin kamaytiradi.
3. Plazma bilan ishlov berish
Plazma bilan ishlov berish jarayonida materialni gofretdan tanlab olib tashlash uchun yuqori reaktiv plazma qo'llaniladi. Ushbu jarayon tarkibiy qismlarni o'z ichiga oladi
raqobat afzalligi
Semixlab TaC qoplamali grafit halqalarining afzalliklari
1. Yuqori chidamlilik
●Zich CVD TaC qoplamasi plazma, kimyoviy hujum va mexanik aşınmaya yalang'och grafitga qaraganda ancha yaxshi qarshilik ko'rsatadi.
2. Yarimo'tkazgich rentabelligi uchun yuqori tozalik
●Ionli ifloslanishni minimallashtirish uchun ultra past ifloslikdagi grafit va yuqori tozalikdagi TaC qoplamasi bilan ishlab chiqarilgan.
3. Nozik ishlov berish va qoplamani nazorat qilish
●Qattiq toleranslar uchun ilg'or ishlov berish; izchil ishlash uchun bir xil qoplama qalinligi.
4. Moslashtirish va muhandislik yordami
●Turli diametrlar, tasavvurlar profillari, qoplama qalinligi va muhrlash xususiyatlari uchun variantlar.
● Jarayonga xos dizaynlar uchun texnik maslahat.
5. Tez prototiplash va global ta'minot
●Tez namunali ishlab chiqarish, global logistika va ishonchli yetkazib berish muddati.
Bizning xizmatlar
Semixlab mahsulotlar do'koni
