barcha kategoriyalar
CVD kremniy karbid (SiC) qoplamasi
MOCVD Epitaksiyasi uchun CVD SiC bilan qoplangan grafit susceptor ishlab chiqaruvchisi
MOCVD Epitaksiyasi uchun CVD SiC bilan qoplangan grafit susceptor ishlab chiqaruvchisi

MOCVD va Epitaksi uchun CVD SiC bilan qoplangan grafit susceptor ishlab chiqaruvchisi


Semixlab yuqori haroratli yarimo'tkazgichlar bilan ishlash uchun CVD SiC qoplamali grafit susseptorlarini taklif etadi - MOCVD, epitaksiya va plastinkalarni qayta ishlash ularning qo'llanilish holatlariga kiradi. Har bir susseptor yuqori tozalikdagi grafit asosidan boshlanadi, so'ngra kimyoviy bug' cho'ktirish orqali qo'llaniladigan kremniy karbidining bir xil qatlamini oladi. Grafit sizga yaxshi issiqlik reaksiyasini beradi, SiC esa kimyoviy inertlik va sirt qattiqligini qo'shadi.

Tavsif

Mahsulotning umumiy ko'rinishi

Epitaksial o'sishda, susseptor plastinkalarning bir tekis qizishiga va o'sish muhitining butun jarayon davomida qanchalik izchil bo'lishiga bevosita ta'sir qiladi. Semixlabning CVD SiC bilan qoplangan susseptorlari zich grafitdan tayyorlangan va bizning SiC jarayonimiz bilan qoplangan. Ular nimani anglatadi?

● Yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi

● Plitadagi harorat profillari bir tekis

● Qayta ishlash kimyoviy moddalariga qattiq qarshilik

● Zarrachalarning past darajada to'kilishi

● Issiq zonalarda qisman umr ko'rish muddati uzaytirildi

CVD qoplamasi grafitni agressiv gazlardan himoya qiladigan va komponentning umumiy mustahkamligini oshiradigan zich SiC qobig'ini hosil qiladi.


kalit Xususiyatlar

Yuqori poklikdagi grafit substrati

Biz sizga quyidagilarni beradigan grafit navlaridan foydalanamiz:

● Kam miqdordagi aralashmalar

● Oldindan aytib bo'ladigan mexanik javob

● Yetarli issiqlik o'tkazuvchanligi

● Termal zarbaga yaxshi bardoshlik

Bu grafit tez qizdirish va sovutish sikllarida yaxshi saqlanib qoladi.

Yagona CVD SiC qoplamasi

SiC qatlami quyidagilarni ta'minlaydi:

● Yuqori sirt qattiqligi

● Yaxshi oksidlanishdan himoya

● Korroziyaga chidamliligi yaxshilandi

● Kontaminatsiya xavfi kamroq

Qoplama qalinligi va sirt qoplamasi sizning maxsus jarayoningizga mos ravishda o'zgarishi mumkin.

Ajoyib issiqlik bir xilligi

Epitaksiya uchun barqaror issiqlik maydoniga ega bo'lish munozarali emas. Grafitning o'tkazuvchanligi va SiC sirt xususiyatlarining juftligi quyidagilarga erishishga yordam beradi:

● Gofretning bir xil harorati

● Barqarorroq ishlov berish

● Har bir ishga tushirishdan ikkinchi ishga yaxshiroq takrorlash mumkin

Yuqori harorat barqarorligi

Ushbu susseptorlar qiyin yarimo'tkazgich sharoitlariga bardosh berish uchun yaratilgan:

● Yuqori ish harorati

● Tez-tez termal sikl

● Uzoq vaqt davomida barqaror jarayon barqarorligi


Nima uchun Semixlab ni tanlash kerak?

Ilg'or CVD qoplama texnologiyasi

Biz uglerod asosidagi materiallar va CVD qoplamasi bilan amaliy tajribaga egamiz va SiC bilan qoplangan grafit komponentlarini sizning yarimo'tkazgich qo'llanishingiz uchun moslashtira olamiz.

Moslashtirilgan ishlab chiqarish qobiliyati

Biz ishlaymiz:

● Prototiplar

● Kichik yugurishlar

● Hajmli ishlab chiqarish

● Maxsus o'lchamlar va dizaynlar

Sifat nazorati

Har bir qism quyidagilar uchun tekshiriladi:

● O'lchov aniqligi

● Sirt holati

● Qoplamaning bir xilligi

● Jarayonning ishonchliligi

Texnik xususiyatlari
buyum spetsifikatsiyasi
mahsulot CVD SiC bilan qoplangan grafit susceptor
Asosiy material Yuqori poklikdagi grafit
Qoplama materiali CVD kremniy karbidi (SiC)
SiC pokligi ≥99.999% (Odatdagi)
operatsion harorati 1600°C gacha (jarayonga bog'liq)
Qoplama qalinligi Özelleştirilebilir
sirt Har bir dastur uchun moslashtirilgan
diametr Moslashtirilgan
ariza MOCVD, Epitaksiya, Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash
ilovalar
Uskunaning turi Odatdagi jarayonlar Gofret materiallari
MOCVD reaktorlari GaN LED epitaksiyasi, aralash yarimo'tkazgich o'sishi, yupqa plyonkali cho'kma GaN, InGaN, AlGaN
Epitaksiya tizimlari SiC epitaksial o'sishi, III-V yarimo'tkazgich epitaksiyasi SiC, GaAs, InP
Gofretni qayta ishlash vositalari Yuqori haroratli qo'llab-quvvatlash, ilmiy-tadqiqot va ishlanmalar sinovlari Kremniy, SiC, GaN
Bizning xizmatlar

Semixlab mahsulotlar do'koni

semixlab-mahsulotlar-ombor

MA'LUMOT

Issiq toifalar