EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
0200-35223 Keramik uzuk
AMAT 0200-35223 Keramik halqasi - bu ilg'or plazma o'yish va cho'ktirish muhitlari uchun mo'ljallangan yuqori aniqlikdagi yarimo'tkazgichli keramik komponent. Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash tizimlarida keng qo'llaniladigan ushbu keramik halqa kamera ichidagi plazma xatti-harakatlarini tartibga solishga yordam beradi, shu bilan birga barqaror RF maydoni taqsimotini qo'llab-quvvatlaydi va plastinka ishlab chiqarish jarayonlarida ifloslanish xavfini kamaytiradi. Semixlabda biz yuqori zichlikdagi plazma ilovalari, ilg'or o'yish kameralari va muhim plastinkalarni qayta ishlash muhitlari uchun mo'ljallangan yarimo'tkazgichli keramik ehtiyot qismlarni ishlab chiqarish va yetkazib berishga ixtisoslashganmiz. Sizning so'rovingizni kutmoqdamiz.
Tavsif
AMAT 0200-35223 Keramik halqasi odatda ilg'or o'yish va cho'ktirish tizimlariga integratsiyalashgan yarimo'tkazgichli plazma kamerali keramik halqalar toifasiga kiradi. Strukturaviy jihatdan, u plastinka ishlov berish hududi yaqinida, odatda elektrostatik patron (ESC), plazma cheklash maydoni yoki kameraning chekka o'tish zonasi atrofida joylashgan aniq muhandislik halqa komponenti sifatida ishlab chiqilgan.
Tashqi ko'rinishi ixcham bo'lsa-da, uning kamera ichidagi roli juda muhim. Plazma ishlov berish jarayonida plastinka chekkasi mintaqasi RF maydonlari, ion traektoriyalari va plazma zichligi taqsimoti o'rtasidagi murakkab o'zaro ta'sirlarni boshdan kechiradi. Kamerani to'g'ri sozlamasdan, bu o'zaro ta'sirlar jarayonning beqarorligiga, chekka profilining nomuvofiqligiga va notekis o'yma yoki cho'ktirish xatti-harakatlariga olib kelishi mumkin.
Keramik halqa plastinka va uning atrofidagi kamera tuzilmalari o'rtasida funktsional plazma-boshqaruv interfeysi vazifasini bajaradi. Mahalliy elektr maydonining taqsimlanishiga ta'sir qilish va plastinka chetiga yaqin plazma sharoitlarini barqarorlashtirish orqali u kamera jarayonining umumiy mustahkamligini va plastinka hosildorligini yaxshilashga yordam beradi.
0200-35223 keramik halqasining asosiy funktsiyalari
0200-35223 Keramik halqaning eng muhim funktsiyalaridan biri plazma chekkasini tartibga solishdir. Ilg'or yarimo'tkazgichli jarayonlarda plazma zichligi plastinka chekkasi yaqinida muhim o'lchamlarni boshqarish, profilning bir xilligi va umumiy jarayon barqarorligiga sezilarli ta'sir ko'rsatishi mumkin. Keramik halqa plazmaning chekka mintaqasi yaqinida taqsimlanishini boshqarishga yordam beradi, jarayon og'ishlarini kamaytiradi va plastinkaning bir xilligini yaxshilaydi.
Ushbu komponent shuningdek, kamera ichidagi RF maydonini barqarorlashtirishga hissa qo'shadi. Plazma xatti-harakati impedans taqsimoti va qobiq shakllanishi bilan chambarchas bog'liq bo'lgani uchun, keramik halqaning geometriyasi va dielektrik xususiyatlari ion energiyasining taqsimlanishiga va plazma ulanish samaradorligiga bevosita ta'sir qiladi. Bu keramik halqani passiv mexanik struktura emas, balki RF tomonidan ishlab chiqilgan muhim kamera komponentiga aylantiradi.
Yana bir muhim funksiya kamerani himoya qilishdir. Yuqori zichlikdagi plazma ishlashi paytida kamera devorlari va yaqin atrofdagi komponentlar agressiv ion bombardimoniga va reaktiv plazma turlariga duchor bo'ladi. Keramik halqa himoya to'sig'i vazifasini bajaradi, sezgir kamera tuzilmalariga plazmaning to'g'ridan-to'g'ri ta'sirini kamaytiradi va uskunaning xizmat muddatini uzaytirishga yordam beradi.
Bundan tashqari, keramik halqa kamera ichidagi zarrachalarni kamaytirish strategiyalarini qo'llab-quvvatlaydi. Optimallashtirilgan sirt qoplamalariga ega yuqori toza keramika chayqalish, eroziya va gaz chiqishi bilan bog'liq ifloslanish xavfini kamaytirishga yordam beradi, bu ayniqsa zarrachalarga chidamlilik tobora qattiqlashib borayotgan ilg'or yarimo'tkazgichli tugunlarda muhimdir.
Bizning xizmatlar
